XRD物相分析檢測(cè)半導(dǎo)體XRD檢測(cè)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

請(qǐng)問知道晶體的結(jié)構(gòu)和晶格參數(shù)能模擬它的 X 衍射譜線嗎?

XRD 衍射強(qiáng)度和峰的寬度與樣品顆粒大小，還是與晶體顆粒大小有關(guān)？

樣品中晶粒越小，衍射峰的峰高強(qiáng)度越來越低，XRD物相分析檢測(cè)費(fèi)用多少，但是峰越來越寬，實(shí)際上利用 X 射線衍射峰的寬化對(duì)樣品的結(jié)晶顆粒度分析就是根據(jù)這個(gè)原理的（Scherrer公式）。

晶粒大小和顆粒大小有關(guān)系，但是其各自的含義是有區(qū)別的。一顆晶粒也可能就是一顆顆粒，但是更可能的情況是晶粒抱到一起，二次聚集，成為顆粒。顆粒不是衍射的基本單位，但是微小的顆粒能產(chǎn)生散射。你磨的越細(xì)，散射就越強(qiáng)。對(duì)于晶粒， 你磨過頭了， 晶體結(jié)構(gòu)被破壞了， 磨成非晶， 衍射能力就沒有了。磨得太狠的話，福建XRD物相分析檢測(cè)，有些峰可能要消失了，而且相鄰較近的衍射峰會(huì)由于寬化而相互疊加，終會(huì)變成1 個(gè)或幾個(gè)"鼓包"。一般晶面間距大的峰受晶粒細(xì)化的影響會(huì)明顯一些，XRD物相分析檢測(cè)機(jī)構(gòu)，因d值大的晶面容易被破壞。

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假如我使用幾種強(qiáng)度的表示方法來計(jì)算含量呢？

通過X射線衍射分析軟件的“尋峰”功能。我們能得到衍射峰的峰高和峰面積，你不妨試試分別通過峰高和峰面積來計(jì)算物相的含量，然后再作個(gè)平均，也許會(huì)比單純地使用峰高或峰面積來計(jì)算結(jié)果一些。你會(huì)做峰形擬合嗎？

X射線衍射峰的線形總是一種“鐘罩”形函數(shù)，或者說可以使用一種鐘罩形函數(shù)來擬合。你可以選擇不同的峰形函數(shù)來做峰的擬合，看看哪個(gè)的誤差小，說明衍射峰能使用這種函數(shù)來擬合。擬合完成后，擬合函數(shù)的高度、寬度和面積就會(huì)列表出來。

這時(shí)，你又得到一組強(qiáng)度數(shù)據(jù)，分別用高度和面積計(jì)算物相含量，會(huì)得到怎樣的結(jié)果呢？當(dāng)然也可以加入到前面的兩種結(jié)果中，作一個(gè)4個(gè)結(jié)果的平均。這只是我的建議，并非一定要這么做。當(dāng)衍射峰沒有重疊，沒有寬化，沒有變形時(shí)，4種結(jié)果沒有多少差別。只有當(dāng)存在這些因素時(shí)，才會(huì)出現(xiàn)差別。如果峰形重疊，使用擬合能將重疊峰分離開來，以消除其它物相附加的強(qiáng)度，單純的尋峰是不能做到這一點(diǎn)的。但是，擬合時(shí)要特別注意背景線的取舍，擬合得不好可能會(huì)產(chǎn)生很大的誤差。擬合峰數(shù)據(jù)用來計(jì)算一些粘土礦物的含量時(shí)，XRD物相分析檢測(cè)哪家好，顯得尤為有意義。因?yàn)檫@些物相的峰形往往不對(duì)稱，矮而寬，底部拖得特別寬，而且多有重疊。單純的尋峰數(shù)據(jù)使物相含量的計(jì)算結(jié)果偏小。不過，用擬合數(shù)據(jù)計(jì)算出來的又往往偏高。兩者中和一下，也許與真實(shí)的結(jié)果差不離了。

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衍射峰左右不對(duì)稱是何原因?

衍射儀獲得的衍射峰形(地說是衍射線的剖面，diffraction lineprofile)是不對(duì)稱的， 尤其是在低角度區(qū)(2θ < 30°)表現(xiàn)更為明顯。峰型不對(duì)稱是由多方面的因素造成的，主要是衍射儀光路的幾何因素、儀器的調(diào)整狀況以 及樣品的吸收性質(zhì)等。

為什么有的 XRD data 中，有(200)(400)面，而沒有基本的(100)面數(shù)據(jù)?或者有 (220)而沒有(110)?

粉晶衍射不一定能出現(xiàn)所有的面網(wǎng)，很多物質(zhì)的粉晶衍射都不一定出現(xiàn)(100)(110)，這 與結(jié)構(gòu)有關(guān)。晶體衍射有個(gè)叫"消光"的現(xiàn)象，晶體的"消光規(guī)律"決定于它的結(jié)構(gòu)的對(duì)稱性，不同的空間群 其"消光規(guī)律"不同。如果應(yīng)該出現(xiàn)的衍射而沒有出現(xiàn)，那就是樣品的擇優(yōu)取向引起的。再者(100)面的角度比較低，有時(shí)是沒有掃到或淹沒在低角度的背景中了。

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