廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，其前身是2010年10月在成立的廣東半導體照明產業(yè)技術研究院。2015年6月經省政府批準，由原廣東省科學院、廣東省工業(yè)技術研究院（廣州有色金屬研究院）、廣東省測試分析研究所（中國廣州分析測試中心）、廣東省石油化工研究院等研究院所整合重組新廣東省科學院，2016年4月成為獨立法人單位廣東省半導體產業(yè)技術研究院，2020年8月正式更名為廣東省科學院半導體研究所。主要聚焦半導體產業(yè)發(fā)展的應用技術研究，兼顧重大技術應用的基礎研究，立足于廣東省經濟社會發(fā)展的實際需要，從事電子信息、半導體領域應用基礎性、關鍵共性技術研究，以及行業(yè)應用技術開發(fā)。在第三代氮化物半導體領域具備貫穿全產業(yè)鏈的研發(fā)與中試支撐能力，在集成電路領域具備設計、封裝、評測等多點支撐能力。擁有近5000平方米的研發(fā)基地，其中超凈實驗室超1000平方米，擁有MOCVD等100多臺/套關鍵設備，設備總價值過億元。目前已建立材料外延、微納加工、封裝應用、分析測試四大科研平臺，硬件條件達到先進水平，是國內第三代寬禁帶半導體材料研究的重要基地，也是國內少數(shù)擁有完整半導體工藝鏈的研究平臺之一，并且具備2-6英寸第三代半導體產業(yè)技術的中試能力。