掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品，通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用，來(lái)激發(fā)各種物理信息，對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm；放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬(wàn)倍及以上連續(xù)可調(diào)；并且景深大，視野大，成像立體效果好。此外，掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合，可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多的優(yōu)點(diǎn)，發(fā)展速度是很快的。 

1 儀器分辨率較高，植物氣孔掃描電鏡檢測(cè)技術(shù)服務(wù)，通過(guò)二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié)，采用LaB6電子，可以進(jìn)一步提高到3nm。 

2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察，同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。

作用 進(jìn)行初步成像放大，改變物鏡的工作電流，可以起到調(diào)節(jié)焦距的作用。電鏡操作面板上粗、細(xì)調(diào)焦旋扭，即為改變物鏡工作電流之用。為滿足物鏡的前述要求，不僅要將樣品臺(tái)設(shè)計(jì)在物鏡內(nèi)部，以縮短物鏡焦距；還要配置良好的冷卻水管，以降低物鏡電流的熱飄移；此外，還裝有提高成像反差的可調(diào)活動(dòng)光闌，及其要達(dá)到高分辨率的消像散器。對(duì)于的電子顯微鏡，都通過(guò)物鏡裝有以液氮為媒質(zhì)的防污染冷阱，給樣品降溫。



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