通過閥芯的運動又可以控制氣壓執(zhí)行機構的流量與壓力，從而實現(xiàn)對執(zhí)行機構的控制。因此電氣比例閥性能的好壞直接影響到整個系統(tǒng)性能的優(yōu)劣。由于在影響壓電疊堆位移精度的特性中，滯環(huán)特性對其影響，對壓電疊堆( Tokin AE0505D16)不同路徑的加壓過程進行大量數(shù)據(jù)的實測分析，了解在0~ 100V這一區(qū)間內(nèi)的滯環(huán)特性。高壓油泵中有一個控制進入高壓油軌油量的進油計量比例閥。進油計量比例閥縮寫為IMPROP或ZME，  同德爾福系統(tǒng)的燃油計量閥(IMV)作用相同。

 由于陶瓷是晶粒隨機取向的多晶聚集體，因此其中各個鐵電晶粒的自發(fā)極化矢量也是混亂取向的.經(jīng)過極化處理后的壓電陶瓷，在電場取消之后，會保留一定的宏觀剩余極化強度，從而使陶瓷具有了一定的壓電性質(zhì)。壓電陶瓷特性是具有壓電性， 包括正壓電性和逆壓電性。高壓油泵中有一個控制進入高壓油軌油量的進油計量比例閥。進油計量比例閥縮寫為IMPROP或ZME，涂布機電氣比例閥，  同德爾福系統(tǒng)的燃油計量閥(IMV)作用相同。

 極化強度的增大使壓電陶瓷片沿極化方向伸長。相反， 如果加反向電場，則陶瓷片沿極化方向縮短。這種由于電效應轉變成機械效應的現(xiàn)象是逆壓電效應?？刂葡到y(tǒng)是利用壓縮氣體作為動力源，在數(shù)據(jù)采集卡和自行設計的壓電驅動式電氣比例閥的閉環(huán)控制下，通過光柵尺和力傳感器的反饋，實現(xiàn)氣壓缸的快速驅動與準確定位，精度可達到 0. 001 mm。壓電振子產(chǎn)生強烈的振動，其數(shù)值大出原有振動位移的幾十倍乃至上百倍，利用此諧振狀態(tài)下大的位移變形進行位移輸出。

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