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測量起始電壓為0 V,電壓為 100 V,電壓步長為1 V,測量環(huán)數(shù)為5。電壓與對應(yīng)的位移量全部為正值,可以認(rèn)為在沒有負(fù)的加壓路徑時(shí),應(yīng)的該壓電疊堆的位移輸出均為正值。壓電具有以下優(yōu)點(diǎn):頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠和重量輕等。壓電陶瓷是一類具有壓電特性的電子陶瓷材料.壓電體受到外電場作用而發(fā)生形變,其形變量與外電場強(qiáng)度成正比,這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng).
閥腔體和閥芯要求加工精度很高,圓度、不同圓柱面的同軸度,半導(dǎo)體分選機(jī)用電氣比例閥,因?yàn)殚y芯與閥體的配合既要保證很好地密封性能又要保證摩擦力比較低壓電疊堆( Multilayer Piezoelectric Actuators) 是利用單片壓電陶瓷電場作用下的直接伸長變形,再通過多層疊加使總的變形達(dá)到一個(gè)較大的數(shù)值。壓電具有以下優(yōu)點(diǎn):頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠和重量輕等。壓電陶瓷是一類具有壓電特性的電子陶瓷材料.
壓電振子產(chǎn)生強(qiáng)烈的振動(dòng),其數(shù)值大出原有振動(dòng)位移的幾十倍乃至上百倍,利用此諧振狀態(tài)下大的位移變形進(jìn)行位移輸出。壓電具有以下優(yōu)點(diǎn):頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠和重量輕等。壓電陶瓷是一類具有壓電特性的電子陶瓷材料.常規(guī)的電氣比例閥無法實(shí)現(xiàn)精密控制,利用壓電疊堆作為動(dòng)力源,研究制作了一種新的電器比例閥,即壓電式電氣比例閥。
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