潔凈工程區(qū)域功能講解：

　　1. 粘性地板材料：通常用在潔凈室入口到更衣區(qū)域和潔凈室中，粘性材料用來祛除鞋底的塵埃微粒。

　　2. 更衣區(qū)域：潔凈室與外部環(huán)境的緩沖地帶，對這個區(qū)域的管理直接影響到潔凈室潔凈度的保持。

　　3. 氣壓：保持和監(jiān)測相對于外部環(huán)境或相關(guān)區(qū)域的正氣壓將直接影響到潔凈室的運行。

　　4. 風(fēng)?。豪碚撋?，更衣過的工作人員在進入潔凈室前應(yīng)進行進一步的“擦洗”。

　　5. 維修間：置放輔助和支持設(shè)備(除載入和載出設(shè)備之外)，這個區(qū)域的維護對生產(chǎn)潔凈度水平而言是非常重要的。

　　6. 雙門通道：允許原料或產(chǎn)品進出潔凈室的氣密進出口。

　　7. 更衣程序：就潔凈室服裝而言，存放、穿衣和更衣都對潔凈室運行起到關(guān)鍵的作用。潔凈室維護(包括洗衣)在潔凈室運行中經(jīng)常被忽略

凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展

　　美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。我國使用的0，1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，簡易無塵室，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。

凈化工程注意事項需記牢：

　　4.無菌室應(yīng)定時用適合的消毒液滅菌清洗，以確保無菌室的潔凈度符合要求。

　　5.需求帶入無菌室運用的儀器，器械，平皿等全部物品，均應(yīng)包扎緊密，無塵室工程改造，并應(yīng)通過適合的辦法滅菌。

　　6.作業(yè)人員進入無菌室前，有必要用番筧或消毒液洗手消毒，然后在緩沖間替換作業(yè)服，鞋，無塵室，帽子，口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦洗雙手)，方可進入無菌室進行操作。

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