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凈化工程復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
潔凈隧道(Clean
Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域百1分百覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,無(wú)塵室施工,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):
A.彈性擴(kuò)充容易;
B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
醫(yī)院手術(shù)室內(nèi)空氣凈化案例:
該空氣殺菌消毒凈化機(jī)放置于醫(yī)院的手術(shù)室,在手術(shù)前開(kāi)啟臭氧功能和空氣凈化功能,手術(shù)時(shí)關(guān)閉臭氧功能就能使醫(yī)院的手術(shù)室達(dá)到手術(shù)室的潔凈度要求,而且沒(méi)有紫外線的消毒1殺菌存在死角的缺點(diǎn),無(wú)塵室設(shè)計(jì),并可遙控控制,無(wú)塵室,是醫(yī)院手術(shù)室的首先選擇消毒設(shè)備。手術(shù)室面積50平方米/100平方米/200平方米都有相應(yīng)的型號(hào)可以滿足。
凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展
對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的是集成電路,而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。
企業(yè): 昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司
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