光波超精密技術(shù)研究院——靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是傳動系統(tǒng)運(yùn)動的基礎(chǔ)，是傳動系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一。因其空氣粘滯低、不易爬行、振動小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。因此這次測試裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行設(shè)計。氣靜壓力導(dǎo)軌是指通過書流器將有一定壓力的空氣輸送到導(dǎo)軌間隙內(nèi)，利用氣靜壓力使導(dǎo)軌懸浮，在導(dǎo)軌表面之間形成一層極薄的氣膜，而氣膜厚度基本不變的純空氣摩擦滑動導(dǎo)軌。氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成，每個承導(dǎo)面上至少有兩個氣浮塊。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——靜壓氣浮導(dǎo)軌

相同尺寸的空氣軸承，工作時氣膜厚度和節(jié)流孔直徑減少，可使軸承的剛度提高，但如果節(jié)流孔過小，開式靜壓氣浮導(dǎo)軌，就會給加工制造增加難度，并且容易出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，因此，在空氣軸承的具體設(shè)計中，還應(yīng)考慮使用環(huán)境、加工水平等實(shí)際因素?？諝廨S承如果發(fā)生傾斜，氣膜不均勻?qū)⒔档涂諝飧×S承的剛度，因此在使用時應(yīng)盡量避免這種現(xiàn)象。氣浮導(dǎo)軌在設(shè)計時，可盡可能將同一方向的空氣軸承分散開來。

靜壓氣浮導(dǎo)軌是由氣浮塊、導(dǎo)軌等部件組成。氣浮運(yùn)動時，氣浮塊與導(dǎo)軌間有壓縮氣體流動形成的氣浮薄膜，這種氣浮薄膜的存在，使氣浮塊與導(dǎo)軌面不直接接觸，減少了摩擦，因而廣泛應(yīng)用于精密機(jī)床、測量機(jī)等精密機(jī)械。

光波超精密技術(shù)研究院——靜壓氣浮導(dǎo)軌

在兩個互相運(yùn)動的平面之間有一個空隙 h (通常是幾個微米到幾十個微米)，被支撐件的下平面上有一個面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進(jìn)入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動，滾動靜壓氣浮導(dǎo)軌，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當(dāng)高壓氣體處于一定壓力下時，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進(jìn)氣腔通過節(jié)流器流動時，壓力下降到 P。當(dāng)氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計時，系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態(tài).但是當(dāng)外加載 F突然增大時，間隙就會立即減小.因?yàn)榱鹘?jīng)間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會大大降低，從而使外加載 F自動增大.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來的獨(dú)特機(jī)制。利用真空復(fù)i制使載體臺架在導(dǎo)軌上，消除了振動和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實(shí)現(xiàn)納米級定位。

使用空氣可大大減少運(yùn)行時的維護(hù)情況。不但不需要進(jìn)行繁重的潤滑要求，而且污染和除氣問題也已經(jīng)過時。

與納米級精i確度相比，高速操作可同時提高產(chǎn)量和質(zhì)量，與傳統(tǒng)潤滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù)，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級的精度，而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計，以zui大程度地減少潛在損壞，減少維修停機(jī)時間，提高操作效率

光波超精密——靜壓氣浮導(dǎo)軌

目前，國內(nèi)外大多數(shù)精密測量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動部件，而以氣動靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，昌平區(qū)靜壓氣浮導(dǎo)軌，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測量儀要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)。因此測試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺的移動量，石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——靜壓氣浮導(dǎo)軌

安裝時，無論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動元件的平穩(wěn)滑動。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購時也要十分注意這一點(diǎn)。

石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌-昌平區(qū)靜壓氣浮導(dǎo)軌-光波超精密機(jī)械由光波超精密（廣州）技術(shù)研究院（普通合伙）提供。光波超精密（廣州）技術(shù)研究院（普通合伙）位于廣州市白云區(qū)太和鎮(zhèn)大源村大源洞南路62號801。在市場經(jīng)濟(jì)的浪潮中拼博和發(fā)展，目前光波超精密在其它中享有良好的聲譽(yù)。光波超精密取得商盟認(rèn)證，我們的服務(wù)和管理水平也達(dá)到了一個新的高度。光波超精密全體員工愿與各界有識之士共同發(fā)展，共創(chuàng)美好未來。