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光波超精密技術(shù)研究院——靜壓氣浮導軌
氣浮導軌是傳動系統(tǒng)運動的基礎(chǔ),是傳動系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一。因其空氣粘滯低、不易爬行、振動小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點。因此這次測試裝置采用空氣靜壓導軌進行設(shè)計。氣靜壓力導軌是指通過書流器將有一定壓力的空氣輸送到導軌間隙內(nèi),利用氣靜壓力使導軌懸浮,在導軌表面之間形成一層極薄的氣膜,而氣膜厚度基本不變的純空氣摩擦滑動導軌。氣浮導軌副由氣浮塊和承導面組成,每個承導面上至少有兩個氣浮塊。
光波超精密氣浮導軌——靜壓氣浮導軌
相同尺寸的空氣軸承,工作時氣膜厚度和節(jié)流孔直徑減少,可使軸承的剛度提高,但如果節(jié)流孔過小,開式靜壓氣浮導軌,就會給加工制造增加難度,并且容易出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象,因此,在空氣軸承的具體設(shè)計中,還應(yīng)考慮使用環(huán)境、加工水平等實際因素??諝廨S承如果發(fā)生傾斜,氣膜不均勻?qū)⒔档涂諝飧×S承的剛度,因此在使用時應(yīng)盡量避免這種現(xiàn)象。氣浮導軌在設(shè)計時,可盡可能將同一方向的空氣軸承分散開來。
靜壓氣浮導軌是由氣浮塊、導軌等部件組成。氣浮運動時,氣浮塊與導軌間有壓縮氣體流動形成的氣浮薄膜,這種氣浮薄膜的存在,使氣浮塊與導軌面不直接接觸,減少了摩擦,因而廣泛應(yīng)用于精密機床、測量機等精密機械。
光波超精密技術(shù)研究院——靜壓氣浮導軌
在兩個互相運動的平面之間有一個空隙 h (通常是幾個微米到幾十個微米),被支撐件的下平面上有一個面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d),氣體通過節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進入氣腔,這樣被支撐件①就在氣壓作用下,被支撐件②就在支撐件②上滑動,滾動靜壓氣浮導軌,使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當高壓氣體處于一定壓力下時,氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進氣腔通過節(jié)流器流動時,壓力下降到 P。當氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計時,系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定,并使之處于力平衡狀態(tài).但是當外加載 F突然增大時,間隙就會立即減小.因為流經(jīng)間隙的流量與外加載 F成正比,流速就會大大降低,從而使外加載 F自動增大.
光波超精密氣浮導軌——靜壓氣浮導軌
氣浮導軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來的獨特機制。利用真空復i制使載體臺架在導軌上,消除了振動和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證,保證了每一次實現(xiàn)納米級定位。
使用空氣可大大減少運行時的維護情況。不但不需要進行繁重的潤滑要求,而且污染和除氣問題也已經(jīng)過時。
與納米級精i確度相比,高速操作可同時提高產(chǎn)量和質(zhì)量,與傳統(tǒng)潤滑油相比,空氣處理可解決污染和除氣問題,是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù),使空氣分布均勻,不但具有亞納米級的精度,而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計,以zui大程度地減少潛在損壞,減少維修停機時間,提高操作效率
光波超精密——靜壓氣浮導軌
目前,國內(nèi)外大多數(shù)精密測量設(shè)備均以空氣靜壓導軌為精密運動部件,而以氣動靜壓花崗巖導軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式,昌平區(qū)靜壓氣浮導軌,其位置控制精度可達到 /-15納米。
由于精密測量儀要求摩擦熱小,不需要太大的載荷,所以主要采用空氣靜壓導軌來構(gòu)成高精度的直線運動機構(gòu)。因此測試儀的導板采用空氣靜壓導軌。
凡是能夠同時承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置,就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺的移動量,石墨靜壓氣浮導軌,載重量及精度要求不同,
光波超精密氣浮導軌廠家——靜壓氣浮導軌
安裝時,無論是直線導軌還是平面導軌,安裝都比較簡單,但由于直線導軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的,這種形狀比平面導軌橫截面的形狀要大得多,其原因就在于直線導軌的導軌需要加工溝槽,從而借助溝槽的幫助,才能實現(xiàn)滑動元件的平穩(wěn)滑動。
直線導軌可以承受直線部分或其他方向的作用力,這類設(shè)計,也是直線導軌與平面導軌zui大的區(qū)別之一,所以在選購時也要十分注意這一點。
企業(yè): 光波超精密(廣州)技術(shù)研究院(普通合伙)
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