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MEMS微納加工——廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一,主要聚焦半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應用技術研究,兼顧重大技術應用的基礎研究,立足于廣東省經(jīng)濟社會發(fā)展的實際需要,MEMS微納加工技術,從事電子信息、半導體領域應用基礎性、關鍵共性技術研究,以及行業(yè)應用技術開發(fā)。
激光微納制造實驗室怎么樣?
超快激光微納制造實驗室是半導體行業(yè)不斷發(fā)展的結(jié)果,天津MEMS微納加工,飛秒i激光具有超快超i強的特點,其與材料相互作用機理也完全不同于傳統(tǒng)激光。但是由于制造方法以及飛秒加工法人效率等多方面原因,目前大面積功能性微納結(jié)構(gòu)的制備仍有很大挑戰(zhàn),需要進一步的研究攻i克。
歡迎來電咨詢半導體研究所了解更多MEMS微納加工~
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微納制造在航天的應用
納米技術就現(xiàn)代現(xiàn)代先進科學的產(chǎn)業(yè),在很多行業(yè)都有著廣泛的應用,比如在航天器功能材料商中就要應用到微納制造。納米材料本身結(jié)構(gòu)獨i特,這也讓它自身有了量i子尺寸效應,宏觀量i子隧道效應和界面效應,是雷達以及紅外隱身的應用材料。與此同時,納米材料由于具有優(yōu)良的導電性能,在航天行業(yè)應用中可以實現(xiàn)導電,導磁,導熱隔熱等功能。
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mems熱電堆芯片加工
常見的MEMS設計熱電堆傳感器有封閉膜式和懸臂梁式。
傳統(tǒng)熱電堆芯片采用濕法腐蝕工藝,CMOS-MEMS熱電堆芯片則采用干法腐蝕工藝。
微納制造技術在傳感器的應用微納制造技術是建筑納米科技大廈的基石之一,其在傳感器上的應用成果即MEMS傳感器,MEMS微納加工廠商,包括壓力傳感器,加速度傳感器,圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)i療,汽車電子,運動追i蹤等領域都有廣泛應用。
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