廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的廣東半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院。2015年6月經(jīng)省政府批準(zhǔn),由原廣東省科學(xué)院、廣東省工業(yè)技術(shù)研究院(廣州有色金屬研究院)、廣東省測試分析研究所(中國廣州分析測試中心)、廣東省石油化工研究院等研究院所整合重組新廣東省科學(xué)院
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半導(dǎo)體材料(圖)-氧化硅真空鍍膜加工-浙江氧化硅真空鍍膜
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生物芯片材料刻蝕工藝-廣州材料刻蝕工藝-半導(dǎo)體微納
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