光波超精密——氣動直線導軌

按照振動激勵的方式不同，滾柱直線導軌副的振動可以分為以下三種情況：1、是來自導軌內部的振動，即由于加工產生的加工誤差，比如波紋度，粗糙度，還有一些局部缺陷等。2、是外部擾動，即外部工況不穩(wěn)定，載荷變化較大等。3、是來自于自身固有的結構屬性，包括在固有頻率處發(fā)生強烈共振，比如滾柱的通過頻率等。

滾柱直線導軌副雖然結構看起來簡單，所包含的零件不多，進口氣動直線導軌，但由于對其要求的精度很高，滾柱直線導軌副運行后，零件之間的接觸碰撞過程非常復雜，這些接觸碰撞將直接影響導軌的振動。

光波超精密——氣動直線導軌

直線導軌安裝前的準備 ，氣動直線導軌生產廠家，1、機臺水平的校正：用兩個等高量塊和一大理石量尺放在安裝基面上，汕頭氣動直線導軌，放上精密的水平儀調試底座水平。2、安裝的檢查：直線導軌安裝基面的粗糙度、平面度、直線度及外觀的檢查。3、安裝面的倒角處理：直線導軌安裝基面與導軌側基準安裝面的倒角處理，倒角半徑，應符合直線導軌廠家的要求，若發(fā)現(xiàn)倒角過大或凸出，應及時采用油石或銼刀處理，否則會造成導軌精度的安裝不良或者會干涉滑塊。

光波超精密——氣動直線導軌

開式靜壓導軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；(2)導軌結構簡單，易于制造和調整；

當導軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時，光柵氣動直線導軌，氣膜剛度較低。

總之，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導軌結構的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導軌——氣動直線導軌

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導向器工作時，氣源氣流通過進氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進氣孔流出后壓力下降，然后進入承載氣膜，并向四周擴散流動，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠，可獲得導軌的承載力。當負荷一定時，氣動靜壓導軌和軌道之間自動保持相應的氣膜厚度，使承載力和負荷平衡，終實現(xiàn)氣動導軌的重量平衡。

光波超精密——氣動直線導軌

超精機靜壓氣浮導軌是由高精度的靜導軌、動導軌和氣浮軸承等部件組成。高速高壓氣浮軸承在導軌運動時，在動靜壓導軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動形成潤滑膜，使動靜壓導軌表面不直接接觸。氣浮導軌與液壓導軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運動精度高的特點，在超精密機床、坐標測量機等高精密儀器設備中有著廣泛的應用。當氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動導軌間隙氣膜厚度不變時，由于空氣移動的粘度、動導軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導軌所受的摩擦力與動導軌的速度正相關。

光波超精密空氣導軌——氣動直線導軌

由于氣浮軸承將氣體排入導軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和速度也不斷提高，氣浮導軌明顯具有摩擦阻力小、無粘滯、運動精度高的特點，而在超精密機床、坐標測量機等高精密儀器設備中，已廣泛應用。

當氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動導軌間隙氣膜厚度不變時，由于空氣移動的粘度、動導軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導軌所受的摩擦力與動導軌的速度正相關。進入導軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和運動速度也不斷提高，氣浮導軌的摩擦力將對超精密機床的定位精度、系統(tǒng)運動速度產生不可忽視的影響3"。對超精密機床的定位精度和運動速度進行研究，已成為當前研究的熱點[4-6]。

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