光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

制作精良的石料構(gòu)件，也干了不少導(dǎo)軌。但是多為氣浮導(dǎo)軌，靜壓導(dǎo)軌較少。組裝前，精度一般能達(dá)到3、5微米左右，因?yàn)榧虞d后精度肯定會發(fā)生變化。加工后再組裝研配，直線度可達(dá)到1微米以內(nèi)，扭曲度可達(dá)到1微米以內(nèi)，平行度可達(dá)到1微米以內(nèi)。刮除時不能破壞產(chǎn)品的度。

可調(diào)性是直線滑動導(dǎo)軌特有的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)導(dǎo)軌的使用情況，直線滑行導(dǎo)軌系統(tǒng)都將配備可調(diào)邊，有一個或多個。因?yàn)檫\(yùn)動部件要沿直線導(dǎo)軌的側(cè)向運(yùn)動，必須保證運(yùn)動部件與導(dǎo)軌的側(cè)向緊密接觸，所以導(dǎo)軌要有可調(diào)節(jié)功能。

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

在移動部件與導(dǎo)軌接觸面相對的一側(cè)放置斜鐵是的調(diào)節(jié)方法。圓錐條狀塊狀鐵塊。若滑動件或?qū)к壞p，接觸面之間產(chǎn)生間隙，可通過調(diào)整傾斜鐵片，補(bǔ)償導(dǎo)軌，消除運(yùn)動件與導(dǎo)軌之間的間隙。

機(jī)床廠已開發(fā)出斜鐵自動調(diào)節(jié)的專利技術(shù)，并被廣泛采用。這種技術(shù)的基本原理是，當(dāng)移動部件或?qū)к壪到y(tǒng)磨損時，超精密機(jī)床三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，使斜鐵保持固定的彈簧壓力，斜鐵能自動消除兩者之間的間隙。

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

大理石氣浮導(dǎo)軌的便用要水

當(dāng)運(yùn)動件沿著承導(dǎo)件作直線運(yùn)動時，花崗巖三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支承和導(dǎo)向的作用.為了保證花崗石導(dǎo)軌作用的實(shí)現(xiàn).在設(shè)計(jì)的時候要完成這些相應(yīng)的要求:

1.①定的導(dǎo)向精度.導(dǎo)向精度是指運(yùn)動件沿花崗石氣浮導(dǎo)軌移動的直線性，以及它與有關(guān)基面間的相互位置的準(zhǔn)確性.

2.運(yùn)動輕便平穩(wěn).工作時，應(yīng)輕便省力，速度均勻，低速時應(yīng)無爬行現(xiàn)象.

3.良好的耐研磨性.導(dǎo)軌的耐研磨性是指導(dǎo)軌長期使用后.，能保持①定的使用精度.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過程中要磨損.但應(yīng)使磨損量小，且磨損后能自動補(bǔ)償或便于調(diào)整.

光波超精密技術(shù)研究院——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

4.足夠的剛度.運(yùn)動件所受的外力，是由花崗石氣浮導(dǎo)軌面承受的，故導(dǎo)軌應(yīng)有足夠的接觸剛度.為此，常用加大導(dǎo)軌面寬度，以降低導(dǎo)軌面比壓;設(shè)置輔助導(dǎo)軌，以承受外載.

5.溫度變化影響小.應(yīng)保證花崗石氣浮導(dǎo)軌在工作溫度變化的條件下.仍能正常工作.

6.結(jié)構(gòu)工藝性好.在保證花崗石氣浮導(dǎo)軌其它要求的前提下，應(yīng)使花崗石氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單.便于加工、測量、裝配和調(diào)整，降低成本.

花崗石氣浮導(dǎo)軌是花崗石構(gòu)件中常見的一種，由于選用了花崗石原料.具有了花崗石本身的優(yōu)勢，具有良好的穩(wěn)定性.能在重負(fù)荷下保持高精度.

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動壓力型如左下圖所示，兩面相對運(yùn)動，間隙呈楔形，沿運(yùn)動方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對運(yùn)動，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，宿遷三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，形成動壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，并借助靜壓力使之懸浮，節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時，調(diào)節(jié)氣隙中的壓力，使導(dǎo)軌具有剛度?？諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動副，滑動片之間是氣膜潤滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

平面氣浮導(dǎo)軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢，隨著移動速度的增加先下降到一個zui低值，然后逐漸上升到一個平衡值，但不隨移動速度的增加而改變；而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進(jìn)氣壓力的變化而變化.因?yàn)闇y量機(jī)移動時的慣性力大小與馬達(dá)驅(qū)動力、氣浮導(dǎo)軌的摩擦力以及移動部件的質(zhì)量有關(guān)的慣性力會隨著測量機(jī)測量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出，三坐標(biāo)測量機(jī)的zui優(yōu)測量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻(xiàn)[7]的試驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了這一點(diǎn)。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，光柵三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

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