光波超精密技術研究院——空氣靜壓導軌

安置設備的房間的使用面積要求（盡量滿足）：長度實際需求 5 米；寬度≥4 米；高度 3.5 米。

設備安置房間應遠離跑道，周圍無震源，墻體不為外墻，周圍建立防帶。具體要求請建筑設計人員根據(jù)長距離精密計量及校準防震的通用要求設計。若該校準實驗室能建于地下是較為理想的（1、能實現(xiàn)大尺寸校準實驗室所需要的穩(wěn)定的環(huán)境溫度要求；2、易于實現(xiàn)大尺寸精密校準所需要的每小時溫度的變化量要求；3、能節(jié)約能源等）。

光波超精密氣浮導軌——空氣靜壓導軌

氣源要求

供氣壓力： >0.7 MPa

耗氣量： 1.5M3/min

氣源的出口溫度：20±4 ℃

推薦：使用空壓機 冷凍干燥機 二級過濾。

溫度要求

溫度要求： 20℃±2℃ (精度校驗應滿足 20℃±1℃)

溫度時間梯度：≤0.8℃/小時&≤1℃/24 小時  

溫度空間梯度: ≤0.6℃/m

注意:不應受到太陽照射，不應靠近暖氣，不應靠近進出通道。溫度將會直接影響測量精度及穩(wěn)定性。

濕度要求：

空氣相對濕度： 40%-70%

推薦：現(xiàn)場請至少配備一個高靈敏度干濕溫度計。

注意：過高濕度會導致機器表面、電機凝結水份，增大測量設備故障概率降低使用壽命。空調(diào)的進回風系統(tǒng)設計應繞開精密導軌的主校準測量區(qū)域。

光波超精密——空氣靜壓導軌

開式靜壓導軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，銅陵空氣靜壓導軌，承受偏載和顛覆力的能力較差，滾動空氣靜壓導軌，無法承受反向載荷；(2)導軌結構簡單，易于制造和調(diào)整；

當導軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時，氣膜剛度較低。

總之，空氣靜壓導軌平臺，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導軌結構的限制，超精密機床空氣靜壓導軌，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導軌——空氣靜壓導軌

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導向器工作時，氣源氣流通過進氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進氣孔流出后壓力下降，然后進入承載氣膜，并向四周擴散流動，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠，可獲得導軌的承載力。當負荷一定時，氣動靜壓導軌和軌道之間自動保持相應的氣膜厚度，使承載力和負荷平衡，終實現(xiàn)氣動導軌的重量平衡。

光波超精密技術研究院——空氣靜壓導軌

閉式靜壓導軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導軌本身的結構的剛度要求比較高；

(3)導軌制造及調(diào)整比較復雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導軌一般是采用不等面積氣腔的結構。

同時氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。

光波超精密氣浮導軌——空氣靜壓導軌

實踐中，氣浮墊的性能比較復雜，受多種因素的影響。對于要求較高精度的氣浮導軌，應考慮以下實際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節(jié)流孔數(shù)量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節(jié)流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進氣浮軸承的特性，可適當調(diào)整氣膜厚度和節(jié)流孔直徑的大小，這種方法既簡單又有效。

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