光波超精密技術(shù)研究院——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

安置設(shè)備的房間的使用面積要求（盡量滿足）：長(zhǎng)度實(shí)際需求 5 米；寬度≥4 米；高度 3.5 米。

設(shè)備安置房間應(yīng)遠(yuǎn)離跑道，周圍無(wú)震源，墻體不為外墻，閉式三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，周圍建立防帶。具體要求請(qǐng)建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)長(zhǎng)距離精密計(jì)量及校準(zhǔn)防震的通用要求設(shè)計(jì)。若該校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能建于地下是較為理想的（1、能實(shí)現(xiàn)大尺寸校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室所需要的穩(wěn)定的環(huán)境溫度要求；2、易于實(shí)現(xiàn)大尺寸精密校準(zhǔn)所需要的每小時(shí)溫度的變化量要求；3、能節(jié)約能源等）。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

氣源要求

供氣壓力： >0.7 MPa

耗氣量： 1.5M3/min

氣源的出口溫度：20±4 ℃

推薦：使用空壓機(jī) 冷凍干燥機(jī) 二級(jí)過(guò)濾。

溫度要求

溫度要求： 20℃±2℃ (精度校驗(yàn)應(yīng)滿足 20℃±1℃)

溫度時(shí)間梯度：≤0.8℃/小時(shí)&≤1℃/24 小時(shí)  

溫度空間梯度: ≤0.6℃/m

注意:不應(yīng)受到太陽(yáng)照射，不應(yīng)靠近暖氣，三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌品牌，不應(yīng)靠近進(jìn)出通道。溫度將會(huì)直接影響測(cè)量精度及穩(wěn)定性。

濕度要求：

空氣相對(duì)濕度： 40%-70%

推薦：現(xiàn)場(chǎng)請(qǐng)至少配備一個(gè)高靈敏度干濕溫度計(jì)。

注意：過(guò)高濕度會(huì)導(dǎo)致機(jī)器表面、電機(jī)凝結(jié)水份，增大測(cè)量設(shè)備故障概率降低使用壽命?？照{(diào)的進(jìn)回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)繞開(kāi)精密導(dǎo)軌的主校準(zhǔn)測(cè)量區(qū)域。

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

氣浮靜壓i軸承不同結(jié)構(gòu)尺寸的阻尼差異較大，在承載方向上阻尼較小，對(duì)外界引起的振動(dòng)和空氣軸承自身固有的微振動(dòng)衰減較慢，影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和測(cè)量精度，因此在設(shè)計(jì)出氣浮塊后，必須對(duì)其阻尼系數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)和評(píng)價(jià)。設(shè)計(jì)了一種測(cè)量計(jì)算氣浮阻尼的儀器。常規(guī)阻尼測(cè)量方法需要記錄氣浮振動(dòng)，并對(duì)計(jì)算阻尼進(jìn)行再分析，在記錄氣浮振動(dòng)的過(guò)程中，由于依靠氣浮塊的振動(dòng)來(lái)帶動(dòng)記錄筆，因此記錄結(jié)果誤差較大，因而所測(cè)阻尼結(jié)果誤差也較大。由于傳統(tǒng)的阻尼測(cè)量過(guò)程繁瑣，測(cè)量結(jié)果誤差較大，提出采用先進(jìn)的傳感器和分析儀進(jìn)行阻尼測(cè)量，測(cè)量結(jié)果接近真值，方法簡(jiǎn)便。其用途十分廣泛。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

測(cè)得靜壓式導(dǎo)軌氣浮塊阻尼特性的試驗(yàn)檢測(cè)裝置，包括：沖擊式導(dǎo)軌1、加速度傳感器保護(hù)盒2、加速度傳感器3、氣浮塊4、模態(tài)分析儀5、工作臺(tái)6、氣源7、氣源減壓閥8、單向閥9、供氣壓力閥10、氣浮塊11；氣源7依次通過(guò)氣源減壓閥8、單向閥9與氣源減壓閥11連接；沖擊式導(dǎo)軌3、沖擊式導(dǎo)軌1與氣浮塊4連接；氣浮塊4放置在工作臺(tái)6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，日照三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導(dǎo)軌1和沖擊式導(dǎo)軌1分別與加速度傳感器保護(hù)盒5連接；

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

目前，國(guó)內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來(lái)構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，單軸三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

安裝時(shí)，無(wú)論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購(gòu)時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

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