光波超精密——大理石氣浮導(dǎo)軌

閉式靜壓導(dǎo)軌的特點是：

能承受正、反向載荷，超精密大理石氣浮導(dǎo)軌，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導(dǎo)軌的制作和調(diào)整較為復(fù)雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——大理石氣浮導(dǎo)軌

節(jié)流器的選擇和設(shè)計是氣浮導(dǎo)軌設(shè)計的關(guān)鍵。風(fēng)門型式對氣動導(dǎo)軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，超精密機床大理石氣浮導(dǎo)軌，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。

光波超精密——大理石氣浮導(dǎo)軌

在移動部件與導(dǎo)軌接觸面相對的一側(cè)放置斜鐵是zui常用的調(diào)節(jié)方法。圓錐條狀塊狀鐵塊。若滑動件或?qū)к壞p，接觸面之間產(chǎn)生間隙，可通過調(diào)整傾斜鐵片，精i確補償導(dǎo)軌，消除運動件與導(dǎo)軌之間的間隙。

機床廠已開發(fā)出斜鐵自動調(diào)節(jié)的專利技術(shù)，并被廣泛采用。這種技術(shù)的基本原理是使斜鐵保持一個固定的彈簧壓力，一旦移動部件或?qū)к壪到y(tǒng)磨損，斜鐵就能自動消除間隙。

滾動式導(dǎo)向是一種直線導(dǎo)向。滾動式直線滑軌是一種滾動式導(dǎo)軌，它由鋼i珠在滑塊和滑軌之間無限滾動，使負載平臺在滑軌上可以輕松地進行高精度的直線運動，其摩擦系數(shù)可降低到傳統(tǒng)滾動式導(dǎo)引的1/50，從而可以輕松地達到微米定位精度。

滾動式軌道的優(yōu)點

靈敏度高，其動摩擦因數(shù)與靜摩擦因數(shù)相差很小，因而運動平穩(wěn)，棗莊大理石氣浮導(dǎo)軌，在低速運動時不易發(fā)生爬行。

定位精度較高，重復(fù)定位的精度可以達到0.2微米。

摩擦阻力小，移動輕，磨損小，保持精度高。

滾動式導(dǎo)軌特別適用于要求機床工作部件運動均勻、運動靈敏、定位準確的場合。

光波超精密技術(shù)研究院——大理石氣浮導(dǎo)軌

滾動式軌道分類

采用滾珠為滾動體，運動靈敏度好，定位準確；但其承載能力和剛度較小，一般通過預(yù)緊法來提高承載能力和剛度。為避免因?qū)к壈枷菀鸬木葥p失，一般采用淬火鋼制作導(dǎo)軌表面。對于運動部件質(zhì)量不大、切削力不大的數(shù)控機床，采用滾珠導(dǎo)軌。

其承載能力和剛度均大于滾珠導(dǎo)軌，但對其安裝要求較高。不好的安裝方式會導(dǎo)致導(dǎo)軌的偏移和側(cè)滑，加速磨損，降低精度。當前，數(shù)控機床，尤其是大負荷機床，普遍采用滾柱導(dǎo)軌。

光波超精密——大理石氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺導(dǎo)軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設(shè)備的長導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。

光波超精密——大理石氣浮導(dǎo)軌

真空負壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動導(dǎo)軌，因滾動體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項精度指標中比較重要的兩項。

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