光波超精密——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的作用：是保證機(jī)器運(yùn)行平穩(wěn)、精度高的關(guān)鍵。

氣浮導(dǎo)軌類型：

一、氣浮導(dǎo)軌

二、直線球?qū)к?/p>

三、行狀氣浮導(dǎo)軌：1)矩形導(dǎo)軌2)三角形導(dǎo)軌3)燕尾式導(dǎo)軌

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌工作原理：氣浮導(dǎo)軌以氣浮軸承為核心。采用氣體軸承小孔r1節(jié)流形成高壓氣體腔體P0，在導(dǎo)軌與氣體軸承之間形成具有一定承載能力的剛性薄膜。

氣體軸承的性能要求：承載能力，承載剛性(承載力變化時(shí)承載力每改變一微米)，氣體消耗，抗氣振能力。對于超高精度測量機(jī)來說，光柵空氣導(dǎo)軌，氣浮間隙和氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要。

氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：具有不磨、不磨的特點(diǎn)，由于勻差作用，局部運(yùn)動(dòng)直線度小，角擺動(dòng)能小，測量機(jī)一般采用氣浮導(dǎo)軌。

光波超精密——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實(shí)驗(yàn)室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

基準(zhǔn)修正精度永不損失，導(dǎo)軌不用人為修正，補(bǔ)償，高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大，單軸空氣導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，振幅小，江蘇空氣導(dǎo)軌，且振動(dòng)頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測量中振動(dòng)對測量精度的影響，

光波超精密技術(shù)研究院——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌，簡單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對懸浮，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)，并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)有：1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，石墨空氣導(dǎo)軌，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。

光波超精密技術(shù)研究院——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌氣膜的厚度大于兩個(gè)摩擦面的幾何不規(guī)則度，在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導(dǎo)軌無固體摩擦，因而具有可靠、長壽命、以及摩擦系數(shù)極i小等特點(diǎn)，其傳動(dòng)效率i高，速度適應(yīng)性好，且由于氣體的可壓縮性和流動(dòng)性，因而具有誤差均化作用，能保持一定的精度.氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣腔內(nèi)壓力分布及承載面積與氣腔內(nèi)壓力有關(guān)。

測量機(jī)的氣浮導(dǎo)軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導(dǎo)向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向?qū)к墯鈮|分布(俯視圖). X向?qū)к墴o驅(qū)動(dòng)側(cè)有4個(gè)氣墊，上下各2個(gè).驅(qū)動(dòng)側(cè)有6個(gè)氣墊，其中①、②、③是承載式氣墊，依靠它們來承受整個(gè)移動(dòng)橋的重量，并保持一定的工作間隙.當(dāng)移動(dòng)橋沿 X向移動(dòng)時(shí)，它們使橋框平行于 XY平面運(yùn)動(dòng)，即限制了 Z向直線運(yùn)動(dòng)和繞 X、 Y軸轉(zhuǎn)動(dòng).④、⑤是引導(dǎo)式氣墊，限制了橋框繞 Z軸的直線度運(yùn)動(dòng)誤差和旋轉(zhuǎn).⑥是預(yù)緊性氣墊，使氣墊④、⑤在導(dǎo)軌間有一定的預(yù)緊力.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——空氣導(dǎo)軌

直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動(dòng)。由于采用了一體化的系統(tǒng)封裝，線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺”)和精密鋁導(dǎo)軌組成。

線型氣動(dòng)滑塊具有已獲專利的氣動(dòng)軸承設(shè)計(jì)，即多孔介質(zhì)技術(shù)?，可以通過在軸承表面形成薄而堅(jiān)硬的氣層來消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動(dòng)。這一獨(dú)特的設(shè)計(jì)提高了精度和操作效率，并在氣源失靈時(shí)提供了堅(jiān)固、抗碰撞的設(shè)計(jì)。

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