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光波超精密——花崗石氣浮導(dǎo)軌
在移動部件與導(dǎo)軌接觸面相對的一側(cè)放置斜鐵是zui常用的調(diào)節(jié)方法。圓錐條狀塊狀鐵塊。若滑動件或?qū)к壞p,接觸面之間產(chǎn)生間隙,可通過調(diào)整傾斜鐵片,閉式花崗石氣浮導(dǎo)軌,精i確補(bǔ)償導(dǎo)軌,消除運(yùn)動件與導(dǎo)軌之間的間隙。
機(jī)床廠已開發(fā)出斜鐵自動調(diào)節(jié)的專利技術(shù),并被廣泛采用。這種技術(shù)的基本原理是使斜鐵保持一個固定的彈簧壓力,一旦移動部件或?qū)к壪到y(tǒng)磨損,斜鐵就能自動消除間隙。
滾動式導(dǎo)向是一種直線導(dǎo)向。滾動式直線滑軌是一種滾動式導(dǎo)軌,花崗石氣浮導(dǎo)軌平臺,它由鋼i珠在滑塊和滑軌之間無限滾動,使負(fù)載平臺在滑軌上可以輕松地進(jìn)行高精度的直線運(yùn)動,其摩擦系數(shù)可降低到傳統(tǒng)滾動式導(dǎo)引的1/50,從而可以輕松地達(dá)到微米定位精度。
滾動式軌道的優(yōu)點(diǎn)
靈敏度高,其動摩擦因數(shù)與靜摩擦因數(shù)相差很小,因而運(yùn)動平穩(wěn),靜壓花崗石氣浮導(dǎo)軌,在低速運(yùn)動時不易發(fā)生爬行。
定位精度較高,重復(fù)定位的精度可以達(dá)到0.2微米。
摩擦阻力小,移動輕,磨損小,保持精度高。
滾動式導(dǎo)軌特別適用于要求機(jī)床工作部件運(yùn)動均勻、運(yùn)動靈敏、定位準(zhǔn)確的場合。
光波超精密技術(shù)研究院——花崗石氣浮導(dǎo)軌
滾動式軌道分類
采用滾珠為滾動體,運(yùn)動靈敏度好,定位準(zhǔn)確;但其承載能力和剛度較小,一般通過預(yù)緊法來提高承載能力和剛度。為避免因?qū)к壈枷菀鸬木葥p失,一般采用淬火鋼制作導(dǎo)軌表面。對于運(yùn)動部件質(zhì)量不大、切削力不大的數(shù)控機(jī)床,采用滾珠導(dǎo)軌。
其承載能力和剛度均大于滾珠導(dǎo)軌,但對其安裝要求較高。不好的安裝方式會導(dǎo)致導(dǎo)軌的偏移和側(cè)滑,加速磨損,降低精度。當(dāng)前,數(shù)控機(jī)床,尤其是大負(fù)荷機(jī)床,普遍采用滾柱導(dǎo)軌。
光波超精密——花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性,將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中,形成具有超高剛度的氣膜間隙,從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動。
應(yīng)用行業(yè):電子制造裝備行業(yè)中,如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實(shí)驗(yàn)室測量
使用壽命摩擦系數(shù)接近為零,永不i磨損,精度延續(xù)性精度持久性高,出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損,因此不存在售后問題,使用成本不用返廠維修,更不用整套更換。
基準(zhǔn)修正精度永不損失,導(dǎo)軌不用人為修正,補(bǔ)償,高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大,運(yùn)動平穩(wěn),振幅小,且振動頻率接近,因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響,
光波超精密技術(shù)研究院——花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌,簡單易行,即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對懸浮,實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運(yùn)動,并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)有:1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小,且均勻度好,精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系,即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行,運(yùn)動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。
光波超精密——花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌的幾何精度包括:導(dǎo)軌在垂直面和水平面之間的直線度,陽江花崗石氣浮導(dǎo)軌,導(dǎo)軌面之間的平行度,導(dǎo)軌間的垂直度;導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動部件運(yùn)動軌跡與給定方向的偏差程度,主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙,其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。
影響導(dǎo)軌精度的主要因素如下:
導(dǎo)軌直線度:它對導(dǎo)軌面間平行度和導(dǎo)軌間垂直度均有直接影響
光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——花崗石氣浮導(dǎo)軌
導(dǎo)軌剛度:導(dǎo)軌受力將導(dǎo)致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點(diǎn)變形是由于導(dǎo)軌面的微觀不均勻性引起的;局部變形通常發(fā)生在應(yīng)力集中的地方;導(dǎo)軌本身的變形是指導(dǎo)軌受外載后,整體變形,與導(dǎo)軌的材料、布置有關(guān)。
導(dǎo)軌表面粗糙度:主要由導(dǎo)軌材料、硬度及研磨工藝決定。
導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式:直接影響機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及其它精度指標(biāo)。
企業(yè): 光波超精密(廣州)技術(shù)研究院(普通合伙)
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