光波超精密——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測(cè)量?jī)x器等設(shè)備的長(zhǎng)導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工。但軸承剛度較低，德陽(yáng)空氣導(dǎo)軌，適合負(fù)荷變化小的場(chǎng)合。

光波超精密——空氣導(dǎo)軌

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類(lèi)型，空氣導(dǎo)軌廠家，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類(lèi)型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

光波超精密——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過(guò)節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，閉式圓柱空氣導(dǎo)軌，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測(cè)量及實(shí)驗(yàn)室測(cè)量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問(wèn)題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

基準(zhǔn)修正精度永不損失，導(dǎo)軌不用人為修正，補(bǔ)償，花崗巖空氣導(dǎo)軌，高頻雜波信號(hào)干擾測(cè)量精度高。氣膜剛度大，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，振幅小，且振動(dòng)頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，

光波超精密技術(shù)研究院——空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌，簡(jiǎn)單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對(duì)懸浮，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)，并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)有：1.無(wú)摩擦、磨損小、壽命長(zhǎng)。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒(méi)有關(guān)系，即使在非常低速也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。

光波超精密技術(shù)研究院——空氣導(dǎo)軌

氣體靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過(guò)氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣靜壓導(dǎo)軌和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生氣體摩擦。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤(rùn)滑作用。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——空氣導(dǎo)軌

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和承載部件通過(guò)氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導(dǎo)面之間的空隙排放出來(lái)的。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。

德陽(yáng)空氣導(dǎo)軌-光波超精密資質(zhì)好-空氣導(dǎo)軌廠家由光波超精密（廣州）技術(shù)研究院（普通合伙）提供。光波超精密（廣州）技術(shù)研究院（普通合伙）在其它這一領(lǐng)域傾注了諸多的熱忱和熱情，光波超精密一直以客戶(hù)為中心、為客戶(hù)創(chuàng)造價(jià)值的理念、以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，衷心希望能與社會(huì)各界合作，共創(chuàng)成功，共創(chuàng)**。相關(guān)業(yè)務(wù)歡迎垂詢(xún)，聯(lián)系人：劉志輝。