光波超精密——?dú)飧?dǎo)軌生產(chǎn)廠家

目前，國(guó)內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來(lái)構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——?dú)飧?dǎo)軌生產(chǎn)廠家

安裝時(shí)，無(wú)論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類(lèi)設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購(gòu)時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

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該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機(jī)床的動(dòng)靜導(dǎo)軌表面，可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動(dòng)阻力，提高機(jī)床定位精度和系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度。以計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics， CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動(dòng)力減阻分析模型，并結(jié)合流場(chǎng)分析和阻力分析，尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，并通過(guò)識(shí)別各種因素對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過(guò)研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律，對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——?dú)飧?dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過(guò)節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行i。

氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測(cè)量和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導(dǎo)向器永i不磨損，因此不存在售后問(wèn)題，無(wú)需返修，更不用**更換。

精i確度永不丟失，導(dǎo)軌無(wú)需人工校正，日照氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家，補(bǔ)償。

計(jì)量準(zhǔn)確。由于氣膜剛度大、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、振幅小、振動(dòng)頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，摩擦力小，低速運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生爬行抖動(dòng)現(xiàn)象。隨動(dòng)電機(jī)快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測(cè)試要求

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根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類(lèi)型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，直線氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家，形成動(dòng)壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示，是通過(guò)節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，并借助靜壓力使之懸浮，節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)氣隙中的壓力，使導(dǎo)軌具有剛度。空氣浮筒導(dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。

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平面氣浮導(dǎo)軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢(shì)，隨著移動(dòng)速度的增加先下降到一個(gè)zui低值，然后逐漸上升到一個(gè)平衡值，進(jìn)口氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家，但不隨移動(dòng)速度的增加而改變；而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進(jìn)氣壓力的變化而變化.因?yàn)闇y(cè)量機(jī)移動(dòng)時(shí)的慣性力大小與馬達(dá)驅(qū)動(dòng)力、氣浮導(dǎo)軌的摩擦力以及移動(dòng)部件的質(zhì)量有關(guān)的慣性力會(huì)隨著測(cè)量機(jī)測(cè)量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的zui優(yōu)測(cè)量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻(xiàn)[7]的試驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了這一點(diǎn)。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

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