光波超精密——?dú)飧?dǎo)軌

目前，國(guó)內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，懷柔區(qū)氣浮導(dǎo)軌，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，閉式圓柱氣浮導(dǎo)軌，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來(lái)構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——?dú)飧?dǎo)軌

安裝時(shí)，進(jìn)口氣浮導(dǎo)軌，無(wú)論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購(gòu)時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

光波超精密——?dú)飧?dǎo)軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，直線氣浮導(dǎo)軌，被拖帶壓下，形成動(dòng)壓懸浮。

靜壓力形式如右下圖所示，是通過(guò)節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，借助于其靜壓力使之懸浮

如圖所示，節(jié)流孔的作用是在間隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)間隙內(nèi)的壓力，因此導(dǎo)軌有剛度。空氣浮筒導(dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——?dú)飧?dǎo)軌

開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌在左上角為平坦型，右上角為平坦型，左下角為雙三角型，右下角為平坦型轉(zhuǎn)折，具有以下特征：

(1)承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無(wú)法承受反向載荷；

(2)導(dǎo)向器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低

總之，開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

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氣浮導(dǎo)軌的幾何精度包括：導(dǎo)軌在垂直面和水平面之間的直線度，導(dǎo)軌面之間的平行度，導(dǎo)軌間的垂直度；導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向的偏差程度，主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙，其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。

影響導(dǎo)軌精度的主要因素如下：

導(dǎo)軌直線度：它對(duì)導(dǎo)軌面間平行度和導(dǎo)軌間垂直度均有直接影響

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導(dǎo)軌剛度：導(dǎo)軌受力將導(dǎo)致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點(diǎn)變形是由于導(dǎo)軌面的微觀不均勻性引起的；局部變形通常發(fā)生在應(yīng)力集中的地方；導(dǎo)軌本身的變形是指導(dǎo)軌受外載后，整體變形，與導(dǎo)軌的材料、布置有關(guān)。

導(dǎo)軌表面粗糙度：主要由導(dǎo)軌材料、硬度及研磨工藝決定。

導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式：直接影響機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及其它精度指標(biāo)。

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