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減薄機(jī)主要特點(diǎn)
減薄機(jī)主要特點(diǎn):
1、吸盤(pán)根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤(pán)和真空吸盤(pán),吸盤(pán)大小可根據(jù)客戶需求定制,直徑320-600mm。。
2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。
3、砂輪進(jìn)給模式分三段設(shè)置,能更方便地設(shè)置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果,
4、對(duì)刀方式在不改變砂輪和吸盤(pán)的情況下,針對(duì)不同厚度的工件只需要一次對(duì)刀就可以連續(xù)工作,不需要每次都要對(duì)刀。
5、本機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式是伺服驅(qū)動(dòng),可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進(jìn)刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。
6、本機(jī)采用先進(jìn)的臺(tái)灣品牌PLC和觸摸屏,自動(dòng)化程度高,實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話,操作簡(jiǎn)單一目了然。
7、設(shè)備可檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過(guò)程中因壓力過(guò)大產(chǎn)生變形及破損,自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
8.減薄,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘磨削速度高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度高可減薄250微米。
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減薄機(jī)設(shè)備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營(yíng)項(xiàng)目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機(jī)本設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍(lán)寶石、其他半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤(pán),吸盤(pán)主軸及驅(qū)動(dòng)器組件,砂輪,砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件,絲桿導(dǎo)軌進(jìn)給組件及其他輔助配件構(gòu)成。
立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備結(jié)構(gòu)
1.構(gòu)成
1)磨盤(pán)主軸系統(tǒng)
2)工件盤(pán)主軸系統(tǒng)
3)進(jìn)給系統(tǒng)
4)控制系統(tǒng)
5)輔助設(shè)備
2。規(guī)格
1)砂輪尺寸:(O.D)200mm×(X)7mm×(T)5mm
2)加工尺寸:較大Φ250mm
3)速度和功率:
砂輪:3,000rpm(無(wú)級(jí)可調(diào)) 3.0kW AC伺服電機(jī)
工件:200rpm (無(wú)級(jí)可調(diào)) 0.75kW 齒輪電機(jī)
4)分辨度:0.001mm
5)精度:±0.002mm
6)重復(fù)度:0.001mm
7)研磨范圍:200mm
8)進(jìn)給率:0.1μm-1000μm/sec