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光學微電子凈化工程-潔凈車間技術解決方案
光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細1菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創(chuàng)新發(fā)展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于領1先地位。在檢測中,如果室內干擾因素太多,為排除干擾,可在風口出口加隔離罩,在罩內進行檢測,這樣檢測的數(shù)據(jù)較為準確。
光學微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節(jié)能實用的方案。高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端,高1效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換。
千級無塵車間管理規(guī)范 ▼標簽: 千級無塵車間 環(huán)保工程 凈化工程 空氣凈化
1. 凈化工程1.目的為無塵室清潔建立規(guī)范從而保證產品的質量。
2 范圍 適用于千級無塵室生產車間及進出人員、物料。
3 定義 無
4 職責 生產部:負責無塵室清潔的執(zhí)行。 品質部:負責對無塵室的潔凈度進行檢驗。 5 內容與要求
5.1 風淋室清潔:
5.1.1 每天上午和下午下班時對風淋室進行清潔,擦拭灰塵和換除塵墊。
5.1.2 進入車間時風淋時間為20秒。
5.2 無塵室清潔:
5.2.1 每天上午和下午下進時進行清潔,用吸塵器進行吸塵。
5.2.2 每三天進行一次大清潔,用濕海棉擦地面。
5.2.3 每天上午和下午上班后30分鐘內生產主管進行溫濕度檢驗并記錄。
5.2.4 溫度要求25±3℃;濕度要求≤65%。如達不到則進行空調調節(jié)直到合格才能生產。
5.3 潔凈度檢驗:
5.3.1 品質部每天上午9:00前,下午14:00前用塵埃粒子測試儀進行檢驗并記錄結果.
5.3.2如檢驗達不到千級要求則生產部停止生產進行清潔,直到檢驗OK方可生產.
5.4 人員進出:
5.4.1 人員進入前按《千級無塵室著裝規(guī)范》著裝.
5.4.2 所有人員從風淋室進,專用出口出,不得違規(guī)進出.
5.4.3 緊急出口只能在發(fā)生緊急情況下或運送機器時才能使用.
5.5 物料進出:
5.5.1 所有材料必須從風淋窗口進入.
5.5.2 任何容易帶有或產生灰塵、紙屑的物料不得進入和使用。
6 記錄及相關文件
6.1《溫濕度記錄表》
6.2《塵埃粒子檢驗記錄表》
6.3《千級無塵室著裝規(guī)定》