鏈條隧道式傳遞機構的缺陷是，1、真空室之間的連接閥門需要較大尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛容易互串，進而降低鍍膜質量、成品率等；2、需要較高的設計精度、加工水平，由于是柔性結構，容易出現(xiàn)匹配不準確，導致傳送出現(xiàn)故障。真空鍍膜機往復步進齒條推桿式傳送機其傳遞過程為，固定在鍍膜室頂上或底盤上（與公轉盤同一側）、并可以往復運動的齒輪G、齒條H－推桿機構，順序實現(xiàn)自轉工件桿Am從真空室M的公轉盤Jm向真空室N的公轉盤Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動力是通過軸密封在真空室外的電機來實現(xiàn)。為使自轉工件桿脫離公轉盤進入下一個公轉盤，在公轉盤與自轉軸之間采用開放式連接，同時在固定于鍍膜室內并維持自轉的內齒輪盤相應位置開口，實現(xiàn)自轉工件桿從鍍膜室M傳送到下一個鍍膜室N。

又稱增透膜，它的主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學表面的反射光，從而增加這些元件的透光量，減少或消除系統(tǒng)的雜散光。

簡單的增透膜是單層膜，它是鍍在光學零件光學表面上的一層折射率較低的鍍膜。當鍍膜的折射率低于基體材料的折射率時,兩個界面的反射系數(shù)r1和r2具有相同的。

位相變化。如果膜層的光學厚度是某一波長的四分之一，相鄰兩束光的光程差恰好為π,即振動方向相反，疊加的結果使光學表面對該波長的反射光減少。適當選擇膜層的折射率，使得r1和r2相等，這時光學表面的反射光可以完全消除。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當?shù)碾娊橘|膜系，以增加勢透過率，減少反射，使通帶透過率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質法－珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應用價值。特別在紫外區(qū)，一般電介質材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。