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國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截?cái)?、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
硬脆材料切割
脆硬材料硬度高、脆性大,通常為非導(dǎo)體或半導(dǎo)體,如:各種石材、寶石、玻璃、硅晶體、石英晶體、硬質(zhì)合金、陶瓷、稀土磁性材料等。硬脆材料切割加工主要工藝要求為:率、低成本、窄切縫(材料利用率高)、無損傷、無環(huán)境污染等。
切割對(duì)象:貴重脆硬材料。
元素工具以技術(shù)為導(dǎo)向,擁有多項(xiàng)專利技術(shù),其主要產(chǎn)品環(huán)形金剛石線為切割行業(yè)解決了多項(xiàng)切割難題,給光伏,磁材,陶瓷,輪胎等行業(yè)帶來了新的活力和競爭優(yōu)勢。歡迎各行業(yè)前來咨詢合作。
金剛石線切割機(jī)
金剛石線徑的選擇:
金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇,一般硬度高、強(qiáng)度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應(yīng)選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機(jī)對(duì)材料的切割能力和切割速度。而隨著微電子和光電子技術(shù)飛速發(fā)展,對(duì)半導(dǎo)體和光電晶體的切割加工提出更高要求。當(dāng)切割的材料易于切割時(shí)不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。一些時(shí)候?qū)嶒?yàn)者會(huì)根據(jù)個(gè)人實(shí)驗(yàn)?zāi)康幕虮磺懈畈牧系奶匦詫?duì)切割線徑進(jìn)行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品,這時(shí)所用金剛石線應(yīng)按規(guī)定選擇適當(dāng)?shù)木€徑。
金屬線切割
金屬線切割過程中的注意事項(xiàng)
如各類硬質(zhì)合金鋼、氮化硅陶瓷、金屬陶瓷、鈦合金、電機(jī)等。在國際上,游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是這種技術(shù)存在明顯的不足:線鋸走絲速度低,通?!?0m/S,切割效率低,鋸絲使用壽命短。這是因?yàn)榻饘兕惖臉悠肪哂姓车兜奶匦?,降低金剛石線的磨削率,若切割速度設(shè)置過快會(huì)使與樣品接觸處的金剛石線出現(xiàn)一定向上的弧度,兩個(gè)導(dǎo)向輪間線的跨距越大,允許的弧度越大,一般跨距是900㎜時(shí)允許金剛石線與樣品接觸處出現(xiàn)弧度的至高點(diǎn)與金剛石線的水平位置的距離不超過6㎜