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凈化車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。
一是由于工程成本的制約,一些中、小潔凈工程設(shè)計(jì)和施工單位不按國家標(biāo)準(zhǔn)施工,造成設(shè)計(jì)的潔凈室不符合潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,無法滿足企業(yè)生產(chǎn)的需要。二是將潔凈室性能檢測和測評工作混為一談,有些企業(yè)認(rèn)為完成竣工檢測就可以投入生產(chǎn),而忽視了潔凈室的綜合測評工作,這兩者實(shí)施主體不同、檢測內(nèi)容不同,不可省略任何一個(gè)環(huán)節(jié)。三是潔凈室本身的問題,潔凈室打掃不徹底、不規(guī)范、潔凈室通風(fēng)設(shè)備不合理、潔凈室布局不科學(xué)等。
換氣次數(shù)要求:潔凈室設(shè)計(jì)中換氣次數(shù)的不低于每小時(shí)十二次,為每小時(shí)幾百次。換氣次數(shù)的不同會造成通風(fēng)量能量消耗的巨大差異,造成潔凈室運(yùn)行不符合標(biāo)準(zhǔn),因此,在潔凈室設(shè)計(jì)中,必須保證足夠的換氣次數(shù),才能保證潔凈室的抗干擾能力,加長潔凈室的自凈能力等。
靜壓差控制:根據(jù)規(guī)范要求,潔凈室與非潔凈室的靜壓差不得小于5Pa,與室外的靜壓差不得小于10Pa,在潔凈室設(shè)計(jì)中,要控制好靜壓差,就需要提供一定的正壓或者負(fù)壓,可以采用壓差式電動風(fēng)量調(diào)節(jié)器、設(shè)置阻尼層、調(diào)節(jié)送風(fēng)量與回風(fēng)量和排風(fēng)量的大小等方式。
按照ISO9002質(zhì)量保證體系的要求,滿足業(yè)主的需求是項(xiàng)目的目標(biāo)。在工程開工前和開工初期,項(xiàng)目部的主要管理人員應(yīng)與建設(shè)單位代表建立密切聯(lián)系,將我方對工程各專業(yè)的詳細(xì)工作計(jì)劃與建設(shè)單位代表進(jìn)行交流,根據(jù)其要求進(jìn)行調(diào)整,服從整個(gè)建設(shè)項(xiàng)目的總體計(jì)劃。我方將向建設(shè)單位提交詳盡的施工進(jìn)度計(jì)劃、材料及設(shè)備采購計(jì)劃。