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右側(cè)部分為氣路原理
用戶可以明確地知道氣路原理與氣路基本構(gòu)成,并可通過手動方式,控制內(nèi)部截止閥(V1-V6的開關(guān))
INLET1 - 設(shè)備所用背景氣,一般為空氣或氮?dú)狻?
INLET2 – 原料氣,用戶可通過列表選擇多種氣體種類。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統(tǒng)自動維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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多點(diǎn)動態(tài)氣體配氣儀系統(tǒng)主要功能
觸摸操作和屏幕顯示:顯示屏下方有4個頁面標(biāo)簽,通過觸摸《濃度配氣》、《流量設(shè)置》、《流量檢測》和《預(yù)熱調(diào)零》進(jìn)入相應(yīng)的頁面。顯示屏上方顯示年月日、儀器名稱、時間。
一機(jī)三用:一用:方便、快捷、準(zhǔn)確觸摸屏操作配制標(biāo)準(zhǔn)氣體;二用:根據(jù)被檢儀器(或分析方法)所需要的流量,裝置將配制出的標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行流量控制和分流,相當(dāng)于在配氣裝置中增加了規(guī)程要求的配套設(shè)備“流量控制器”;功能2:如插入接口的U盤中有版本軟件,系統(tǒng)會提示用戶自動升級,允許用戶遠(yuǎn)程界面升級。三用:前面板右上方裝有時間顯示器,可隨時準(zhǔn)確計時。
配出氣體的使用:配制的標(biāo)準(zhǔn)氣體可直接使用,也可充入鋼瓶或氣袋到異地使用。
以上內(nèi)容由曉韜科技為您提供,歡迎各位朋友撥打熱線電話進(jìn)行咨詢!
配氣儀原理
配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用的質(zhì)量流量控制器,控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮?dú)狻⒓儍艨諝獾?。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標(biāo)氣。通過準(zhǔn)確的設(shè)置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。
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