MEMS微納加工——廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，主要聚焦半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應用的基礎研究，立足于廣東省經(jīng)濟社會發(fā)展的實際需要，從事電子信息、半導體領(lǐng)域應用基礎性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應用技術(shù)開發(fā)。

光學微納制造技術(shù)是什么？

芯片制造的核u心是光學微納加工，它的參數(shù)包括：分辨力、套刻精度、視場、加工速度等等。光學微納加工的作用便是將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到代加工的基片上。由于傳統(tǒng)技術(shù)常受限于光學衍射極限，原來主要是通過縮短光源的波長，用來增大光學系統(tǒng)中物鏡的數(shù)值孔徑來提高分辨力，微流控微納加工價格，但這仍然存在很大的極限。目前，光學微納制造加工技術(shù)面臨著的新的基于和挑戰(zhàn)，未來仍有一斷很長的路要走。

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微納加工中晶圓的基本原料是什么？

微納加工中的硅從石英沙精練出來，真空鍍膜微納加工價格，對硅元素加以純化便晶圓，它的純度可以達到百分之九十九，接下來是將些純硅制成硅晶棒，成為制造積體電路的石英半導體的材料。這些材料經(jīng)過照相制版、研磨、拋光、切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。這些就是晶圓的基本原料。

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mems設計之硅壓阻式壓力傳感器設計

　mems設計之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而改變輸出電信號。在傳感器設計上，為了使傳感器具備良好線性輸出，鍵合微納加工價格，要考慮其zui大變形量，敏感薄膜表面zui大應力差以及敏感芯片的壓敏電阻變化率，以滿足器件抗過載和輸出靈敏度的要求。

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