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佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實(shí),顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,.
物理l氣相沉積法主要有真空蒸鍍、濺射和離子鍍。
真空蒸鍍:在真空中加熱使金屬、合金或化合物蒸發(fā),然后凝結(jié)在基體表面上的方法叫真空蒸鍍。
濺射:濺射是利用高速正離子轟擊某一靶材(陰極),使靶材表面原子以一定能量逸出,后在工件表面沉積的過程。
離子鍍:離子鍍借助于一種惰性氣體的輝光放電使欲鍍金屬或合金蒸發(fā)離子化,并在這些荷能離子轟擊基體(工件)表面并同時(shí)沉積在其上形成鍍膜。
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鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對(duì)膜層沉積的影響:
真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度,用壓強(qiáng)表示,壓強(qiáng)越低,其稀薄程度越大,真空度越高。鍍膜過程中,真空度主要通過控制ya氣流量來改變。
ya氣越少,靶材濺射量越少,但真空度越高,氣體分子自由程越大,散射越少,粒子碰撞幾率越小,粒子遷移過程中損失的動(dòng)量越少,沉積速率越大
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烘烤溫度:真空室抽氣時(shí)烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空氣和水氣,這是保證膜色調(diào)純正的重要因素之一。要注意的是,我們的設(shè)備一般采用加熱棒烘烤,以熱電偶測(cè)溫,熱電偶的感溫端位置不能靠近發(fā)熱棒,否則不能反映爐內(nèi)環(huán)境和工件的實(shí)際溫度。
輝光清洗:對(duì)工件施加負(fù)偏壓,產(chǎn)生輝光放電,利用ya離子轟擊工件表面,這種輝光放電清洗作用比較柔和,一般采取由弱到強(qiáng)的轟擊清洗順序,是怕工件太臟時(shí)一開始就強(qiáng)轟擊,可能產(chǎn)生強(qiáng)烈的打火而損傷工件。