恒溫烤箱的使用說(shuō)明

1、工業(yè)烤箱需安裝在室內(nèi)干燥及水平處

2、使用前仔細(xì)閱讀設(shè)備說(shuō)明書(shū)，型號(hào)不同的工業(yè)烤箱配置也是不一樣的，使用前先確認(rèn)溫控器及其他配置;

3、通電前，應(yīng)注意是否有斷路或漏電現(xiàn)象以及電箱的電氣性能;

4、準(zhǔn)備就緒后，可以放入樣品，關(guān)上箱門(mén)，必須同時(shí)旋開(kāi)排氣閥，空隙約10m/m左右，再接通電源;

5、要在供電線路中安裝和試驗(yàn)相配的電流空氣開(kāi)關(guān)一只，并且要有接地線

工業(yè)烘箱的常見(jiàn)故障分析

（1）循環(huán)風(fēng)機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)原因；1、電流超高，斷路器開(kāi)路；2、電機(jī)斷路；3、保險(xiǎn)絲熔斷循環(huán)風(fēng)機(jī)

不運(yùn)轉(zhuǎn)解決辦法：1、斷路器復(fù)位2、更換電機(jī)3、更換保險(xiǎn)絲

（2）加熱器不工作原因：1、電流超高，熱繼電器跳閘；2、電熱管燒壞；3、高溫線燒壞加熱器

不工作解決辦法：1、熱繼電器復(fù)位；2、更換電熱管；3、更換高溫線；

（3）抽風(fēng)機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)原因：1、電流超高，斷路器開(kāi)路；2、電機(jī)斷路；3、保險(xiǎn)絲熔斷

抽風(fēng)機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)解決辦法：1、斷路器復(fù)位；2、更換電機(jī)；3、更換保險(xiǎn)絲；

（4）照明燈不亮原因:  1、保險(xiǎn)絲熔斷；2、燈泡燒壞；

照明燈不亮解決辦法：1、更換保險(xiǎn)絲；2、更換燈泡；

（5）烤房系統(tǒng)不能啟動(dòng)原因：1、加熱管接地；2、電壓表沒(méi)有電壓顯示；

烤房系統(tǒng)不能啟動(dòng)解決辦法：1、更換電熱管；2、檢查外部電源；

工業(yè)烘箱整體的構(gòu)造

1.一般來(lái)書(shū)工業(yè)烘箱內(nèi)部都是由雙層結(jié)構(gòu)來(lái)組成的。2.在工業(yè)烘箱結(jié)構(gòu)中的填充，通常都是采用了纖維物質(zhì)。3.一般利用硅酸鋁來(lái)作為工業(yè)烘箱外殼，通常可以成為很可靠的保溫層。

使用防爆烘箱的好處

我司設(shè)計(jì)的防爆烘箱，它就可以防止這類事故的發(fā)生。其設(shè)計(jì)主要在烘箱的背部加一個(gè)小門(mén)，當(dāng)烘箱內(nèi)部的壓力達(dá)到一定值時(shí)，這扇小門(mén)就會(huì)自動(dòng)打開(kāi)，從而釋放內(nèi)部的壓力,而前門(mén)能耐更高的壓力,是不會(huì)自動(dòng)打開(kāi)，而烘箱一般都是背部向墻（要留出小門(mén)打開(kāi)的距離），相對(duì)老式的烘箱，它也是更加安全的。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過(guò)程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過(guò)程是吳層的過(guò)程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開(kāi)門(mén)高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。