大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業(yè)以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

膜厚儀如何系統校準?

校準的方法、種類，這是新用戶經常會遇到的問題。系統校準、零點校準還有兩點校準其實都已經在說明書上寫到了，用戶只需仔細閱讀就可以了。需要注意的是：在校準鐵基時1好是多測量幾次以防止錯誤操作;系統校準的樣片要按照從小到大的順序進行。如果個別標準片丟失可以找與其數值相近的樣片代替。

膜厚儀是一種比較精密的監(jiān)測設備，它在平時的使用中對于精準度的要求很高，但是還是會有誤差的現象發(fā)生，除了儀器本身的一些故障以外，環(huán)境因素也是造成誤差的一大“元兇”。