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近年來(lái)RTO和RCO由于換熱，可以在VOCs較低濃度下使用，正在逐漸替代傳統(tǒng)熱力焚燒和催化燃燒法。但RTO仍存在投資成本高、占地面積大，有二次污染等問(wèn)題；RCO存在整體式占地面積小但維修困難，只能處理較低濃度氣體，分體式占地面積大，不能處理復(fù)雜成分氣體等問(wèn)題。

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工業(yè)廢氣利用排風(fēng)設(shè)備輸入到本凈化設(shè)備后，凈化設(shè)備運(yùn)用高能UV紫外線光束及臭氧對(duì)工業(yè)廢氣實(shí)施協(xié)同分解氧化反應(yīng)，使工業(yè)廢氣降解轉(zhuǎn)化成低分子純凈物，水和二氧化碳，再通過(guò)排風(fēng)管道排出室外。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生了游離氧。

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天然和組成溶解有機(jī)物，微污染物質(zhì)等的方法。很少部分格外大的有機(jī)物分子，芳香族化合物，鹵代等能牢固地吸附在活性炭表面上或空地中，并對(duì)腐殖質(zhì)，組成有機(jī)物和低分子量有機(jī)物有明顯的去除效果.活性炭吸附作為深度凈化工藝，多用于廢水的末級(jí)處理，也可用于長(zhǎng)產(chǎn)用水，日子用水的純化處理。