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中頻磁控濺射鍍膜設備有哪些特點
中頻磁控鍍膜設備濺射技術已漸成為濺射鍍膜的主流技術,它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜。中頻磁控鍍膜設備濺射技術已漸成為濺射鍍膜的主流技術,它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜的特點是克服了陽極消失現(xiàn)象;減弱或消除靶的異常弧光放電。因此,提高了濺射過程的工藝穩(wěn)定性,同時,提高了介質膜的沉積速率數(shù)倍。
新研發(fā)平面靶,圓柱靶,孿生靶,對靶等多種形式的中頻濺射靶結構和布局。該類設備廣泛應用于表殼、表帶、手機殼、高爾夫球具、五金、餐具等鍍TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各種裝飾鍍層。
多弧離子真空磁控濺射鍍膜機工作原理蒸發(fā)系統(tǒng)的結構與工作原理介紹
多弧離子鍍膜機是一種、無害、無污染的離子鍍膜設備,具有堆積速度快、離化率高、離子能量大、設備操作簡略、本錢低、出產(chǎn)量大的長處。
真空多弧離子鍍膜機偏壓電源的作業(yè)原理
離子鍍膜正本是離子濺射鍍膜,關于導電靶材,運用直流偏壓電源;非導電靶材,運用脈沖偏壓電源。有的多弧離子鍍膜機,可能還需求直流電弧電源或脈沖電弧電源
偏壓電源正本即是在陰極和樣品所在位置的陽極之間構成偏壓電場,通常是陰極加負高壓。陰極外表的自由電子在電場效果下定向加快發(fā)射,發(fā)射電子炮擊氣體分子,使之電離,并且氣體被驅出的電子被電場加快,持續(xù)電離別的氣體分子,接二連三,構成雪崩效應,氣體被擊穿,構成穩(wěn)定的電離電流。此刻離子也被加快,炮擊靶材,將靶材中的原子驅除出外表,并堆積在樣品外表。
真空磁控濺射鍍膜機用戶設置具體設置
按“用戶設置”鈕進入真空磁控濺射鍍膜機的用戶設置界面,里面的數(shù)值除了時間參數(shù)可以根據(jù)機器運行情況作適當調整外,其余參數(shù)經(jīng)調試設定后一般不作修改。各參數(shù)功能如下:
主輥加速時間設定:用于設定主輥從低速度0m/min加速至高速度400m/min的所需時間。單位:5秒。當輸入數(shù)值為4時,加速時間是20秒。
主輥減速時間設定:用于設定主輥從高速度400m/min減速至低速度0m/min的所需時間。單位:5秒。
收卷張力零速保持:用于設定零速張力保持時,收卷的力矩輸出值。
放卷張力零速保持:用于設定零速張力保持時,放卷的力矩輸出值。
編碼器輥直徑輸入:此數(shù)值為編碼器輥直徑的實際測量值。此數(shù)值必須正確無誤,以確保設備運行過程的穩(wěn)定性。
放卷初徑誤差值正設定:用于設定卷繞系統(tǒng)啟動運行時,“放卷初始卷徑輸入”值允許高于實際測量值的誤差值。
放卷初徑誤差值負設定:用于設定卷繞系統(tǒng)啟動運行時,“放卷初始卷徑輸入”值允許低于實際測量值的誤差值。
擺輥動作時間設定:用于設定擺臂在自動控制模式時,擺輥電眼檢測到信號后擺臂自動往外退的動作時間。