真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動機理

  理論研究和試驗表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦?xí)r，真空泵轉(zhuǎn)子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦?xí)r，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦?xí)鹣到y(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。

  另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆担瑫r局部會有溫升，因此工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。5、供應(yīng)進口真空泵油，進口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養(yǎng)，真空系統(tǒng)定做與設(shè)計。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性和長正常運行時間至關(guān)重要。

愛德華70#真空泵油應(yīng)用：

   真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學(xué)等領(lǐng)域的真空泵使用。

供應(yīng)英國愛德華19號真空泵油，質(zhì)量保證規(guī)格4L /208L現(xiàn)貨，愛德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型號選用油號對用，因為真空泵油粘度不一樣。

在真空泵機組定期一切換過程中，多次發(fā)生過類似異常。在備用真空泵機組啟動、原運行泵停運后。凝汽器真空便開始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過程中，發(fā)現(xiàn)氣水分離器內(nèi)處于負壓狀態(tài)，這是一種異常現(xiàn)象。好凱德真空科技分析認為，真空泵機組工作不正常，導(dǎo)致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。如德國BUSCH普旭、德國Becker貝克、德國Rietschle偉力/里其樂、德國天津Leybold萊寶、法國ALCATEL阿爾卡特、英國Edward愛德華、日本ULVAC愛發(fā)科，日本Orion好利旺等品牌。