渦旋真空泵的主要性能表征參數(shù)

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設(shè)計(jì)精度、加工精度和

裝配精度進(jìn)行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計(jì)算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一

個(gè)反映抽氣性能的參數(shù)，也叫幾何抽速。假設(shè)轉(zhuǎn)速為n(轉(zhuǎn)/秒)，并且該禍旋泵

為雙側(cè)渦旋，那么Sth可表達(dá)為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉(zhuǎn)子和定子所形成的外層完整內(nèi)壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實(shí)際抽速是指泵實(shí)際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實(shí)際抽速S要低于理論抽速Sth，設(shè)P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實(shí)際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進(jìn)入氣體長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)，在測(cè)試罩內(nèi)所能達(dá)

到的穩(wěn)定時(shí)的低壓力，用P。表示。此時(shí)泵的實(shí)際抽速S=O，令式((5.3)中的實(shí)際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

愛德華真空泵軸承的檢修標(biāo)準(zhǔn)

   愛德華真空泵相對(duì)其他單級(jí)選片式真空泵具有更高的精度，同時(shí)結(jié)構(gòu)相對(duì)來講比較復(fù)雜，所以我們?cè)趷鄣氯A真空泵維修時(shí)需要制作精度較高的專用工具來對(duì)泵浦進(jìn)行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。

   拆卸軸承應(yīng)使用專用工具，安裝時(shí)不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時(shí)必須墊以軟金屬。

   裝配軸承時(shí)，應(yīng)先檢查軸承質(zhì)量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

   軸承內(nèi)圈端面應(yīng)與軸肩靠緊

   軸承采用加熱安裝時(shí)，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，軸承油浴時(shí)間10-15Min，嚴(yán)禁用火焰直接加熱軸承。

概述

EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。

機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢(shì)

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。

它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。

經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。

軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

訂購(gòu)信息

Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機(jī)械增壓泵

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●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

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