熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只有加熱和冷卻兩個過程。這些過程互相銜接，不可間斷。

加熱是熱處理的重要工序之一。金屬熱處理的加熱方法很多，較早是采用木炭和煤作為熱源，進而應(yīng)用液體和氣體燃料。電的應(yīng)用使加熱易于控制，且無環(huán)境污染。利用這些熱源可以直接加熱，也可以通過熔融的鹽或金屬，以至浮動粒子進行間接加熱。

金屬加熱時，工件暴露在空氣中，常常發(fā)生氧化、脫碳(即鋼鐵零件表面碳含量降低)，這對于熱處理后零件的表面性能有很不利的影響。因而金屬通常應(yīng)在可控氣氛或保護氣氛中、熔融鹽中和真空中加熱，也可用涂料或包裝方法進行保護加熱。

高真空燒結(jié)爐加熱溫度是熱處理工藝的重要工藝參數(shù)之一，選擇和控制加熱溫度,是保證熱處理質(zhì)量的主要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和熱處理的目的不同而異，但一般都是加熱到相變溫度以上，以獲得高溫組織。另外轉(zhuǎn)變需要一定的時間，因此當(dāng)金屬工件表面達到要求的加熱溫度時，還須在此溫度保持一定時間，使內(nèi)外溫度一致，使顯微組織轉(zhuǎn)變完全，這段時間稱為保溫時間。采用高能密度加熱和表面熱處理時，加熱速度極快，一般就沒有保溫時間，而化學(xué)熱處理的保溫時間往往較長。

現(xiàn)代真空熱處理均具有自動微處理器控制，以確保零件均按照確切的特定設(shè)計要求進行處理。通過程序控制，可以確保每次運行都重復(fù)與以前的負(fù)載相同的處理，并且長時間的圖形圖表可確保每項工作的可追溯性。

熱電偶和電離真空計可連續(xù)監(jiān)控爐內(nèi)溫度和氣氛的質(zhì)量，并互鎖安全功能，以防止意外損壞用戶零件。

為了更大程度地減少停機時間并在出現(xiàn)故障時迅速制定交付計劃，提供了經(jīng)過校準(zhǔn)和認(rèn)證以匹配主要設(shè)備的備用監(jiān)控設(shè)備。

為了保持工廠清潔，以保持工廠大氣不受污染，做出了更加的努力。在釬焊高質(zhì)量組件時，這一點尤其重要。

水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。采用低電壓大電流：在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。