其基本原理是運(yùn)用化學(xué)感光資料的光敏特性, 在基體金屬基片雙面均勻涂敷感光資料選用光刻辦法, 將膠膜板上柵網(wǎng)產(chǎn)顯形狀精準(zhǔn)地放到到金屬基片雙面的感光層掩膜上通過顯影去掉未感光有些的掩膜, 精密五金蝕刻技能是運(yùn)用特定的溶液與薄膜間所進(jìn)行的化學(xué)反響來去掉薄膜未被光阻覆蓋的有些，而抵達(dá)精密五金蝕刻的目的，這種精密五金蝕刻辦法也即是所謂的濕式精密五金蝕刻。


低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對(duì)于干式精密五金蝕刻，除了無法界說較細(xì)的線寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點(diǎn)：1) 需花費(fèi)較高成本的反響溶液及去離子水;濕式精密五金蝕刻進(jìn)程可分為三個(gè)過程：1) 化學(xué)精密五金蝕刻液分散至待精密五金蝕刻資料之外表;2) 精密五金蝕刻液與待精密五金蝕刻資料發(fā)作化學(xué)反響;

蝕刻曝光就是通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關(guān)鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學(xué)顯影劑溶解，將可見的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見的顯影方法是旋轉(zhuǎn)、噴霧、浸潤(rùn)，然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。