鏈條隧道式傳遞機(jī)構(gòu)的缺陷是，1、真空室之間的連接閥門需要較大尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛容易互串，進(jìn)而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、需要較高的設(shè)計(jì)精度、加工水平，由于是柔性結(jié)構(gòu)，容易出現(xiàn)匹配不準(zhǔn)確，導(dǎo)致傳送出現(xiàn)故障。真空鍍膜機(jī)往復(fù)步進(jìn)齒條推桿式傳送機(jī)其傳遞過程為，固定在鍍膜室頂上或底盤上（與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè)）、并可以往復(fù)運(yùn)動的齒輪G、齒條H－推桿機(jī)構(gòu)，順序?qū)崿F(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿Am從真空室M的公轉(zhuǎn)盤Jm向真空室N的公轉(zhuǎn)盤Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動力是通過軸密封在真空室外的電機(jī)來實(shí)現(xiàn)。為使自轉(zhuǎn)工件桿脫離公轉(zhuǎn)盤進(jìn)入下一個(gè)公轉(zhuǎn)盤，在公轉(zhuǎn)盤與自轉(zhuǎn)軸之間采用開放式連接，同時(shí)在固定于鍍膜室內(nèi)并維持自轉(zhuǎn)的內(nèi)齒輪盤相應(yīng)位置開口，實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿從鍍膜室M傳送到下一個(gè)鍍膜室N。

又稱增透膜，它的主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學(xué)表面的反射光，從而增加這些元件的透光量，減少或消除系統(tǒng)的雜散光。

簡單的增透膜是單層膜，它是鍍在光學(xué)零件光學(xué)表面上的一層折射率較低的鍍膜。當(dāng)鍍膜的折射率低于基體材料的折射率時(shí),兩個(gè)界面的反射系數(shù)r1和r2具有相同的。

位相變化。如果膜層的光學(xué)厚度是某一波長的四分之一，相鄰兩束光的光程差恰好為π,即振動方向相反，疊加的結(jié)果使光學(xué)表面對該波長的反射光減少。適當(dāng)選擇膜層的折射率，使得r1和r2相等，這時(shí)光學(xué)表面的反射光可以完全消除。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)膜系，以增加勢透過率，減少反射，使通帶透過率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法－珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價(jià)值。特別在紫外區(qū)，一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。