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愛德華進(jìn)口分子泵代理的行業(yè)須知「多圖」

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發(fā)布時(shí)間:2020-07-17 06:33  






我司從事機(jī)電自動(dòng)化,光電存儲(chǔ)媒體,半導(dǎo)體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計(jì)專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。裝好前級(jí)轉(zhuǎn)子及后端蓋后,再裝排氣閥(排氣閥片應(yīng)貼緊閥座)及其它件,如氣鎮(zhèn)裝置等。

旋片真空泵的清洗工藝

為了防止系統(tǒng)中任何容易大量放氣的物質(zhì)并去除高蒸氣壓的物質(zhì),必須進(jìn)行徹底的處理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清潔方法,常見的真空部件清潔方法如下。

旋片真空泵的清洗

為了清潔旋片真空泵而沒有明顯的故障,泵一般不拆卸,只有舊油和污垢從排油孔排出,新的真空泵油(用于清洗)從帶漏斗的進(jìn)氣口。手動(dòng)緩慢旋轉(zhuǎn)泵輪數(shù)次后,釋放油。通過重復(fù)相同的方法一次或兩次,新油可以正式使用。功能和優(yōu)勢:先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)最da的制程靈活性無油,低振動(dòng)高度可靠免維護(hù)先進(jìn)的控制器設(shè)計(jì)自動(dòng)調(diào)整自行診斷功能直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)無電池運(yùn)行緊湊型設(shè)計(jì)。沒有必要清潔新的旋片真空泵,但有必要檢查管道入口是否干凈,沒有異物,并擦去表面膩?zhàn)印?


我司從事機(jī)電自動(dòng)化,光電存儲(chǔ)媒體,半導(dǎo)體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計(jì)專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。一、真空泵的維修旋片真空泵長期使用后,會(huì)出現(xiàn)真空度下降、密封處漏油、真空泵轉(zhuǎn)動(dòng)停滯、甚至發(fā)生“卡死”、油污染嚴(yán)重、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲、真空泵腔內(nèi)落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異?,F(xiàn)象,此時(shí)必須對真空泵進(jìn)行拆洗。

EDWARDS E2M40系統(tǒng)雙極油封旋轉(zhuǎn)葉片真空泵因其高的真空、高抽速、運(yùn)行噪音小以及能夠處理水蒸氣而享有盛譽(yù)。

這些直聯(lián)式旋片泵設(shè)計(jì)緊湊且無振動(dòng),配備防傷手風(fēng)扇和聯(lián)軸器殼體,可為操作人員提供保護(hù)。

提供各種附近,因此可用于廣泛的真空應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

先進(jìn)的油壓可提供有效的潤滑(即使是在高氣體負(fù)荷下)

當(dāng)泵關(guān)閉時(shí),彈簧式分配閥可提供油和空氣反吸保護(hù)

氣鎮(zhèn)控制可幫助處理高水蒸負(fù)荷

傳動(dòng)軸桿上安裝有工業(yè)級(jí)滾柱軸承,可靠性高,使用壽命和無故障工作時(shí)間也更長

通過全高度油品觀察窗可方便地檢查油位和相關(guān)情況

提供了各種附件,可滿足您的應(yīng)用需求

泵和附件可以作為單個(gè)部件提供,也可以作為完整系統(tǒng)化、經(jīng)過出廠測試的組合提供。





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廣州潽拓光電——專業(yè)維修Edwards EXT255H分子泵

優(yōu)點(diǎn)

渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規(guī)程工作,就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境,且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了,對于小泵多用油脂潤滑軸承,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。1Pa極限真空度:1Pa抽氣速率:1L/s電機(jī)功率:1kW工作壓強(qiáng)范圍:1Pa溫升:60℃進(jìn)氣口徑:50mm。近幾年來也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵氣體輸送能力強(qiáng)

由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了,對于小泵多用油脂潤滑軸承,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵 氣體輸送能力強(qiáng) 大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清潔方法,常見的真空部件清潔方法如下。




大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。泵不使用于抽出對金屬月腐蝕性的,對泵油起化學(xué)反應(yīng)的,含有顆粒塵埃的氣體,以體含氧過高的氣體4。


      廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚,充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。

廣州潽拓光電——Edwards STP-301CB1到貨,歡迎前來選購。

愛德華STP-H301C分子泵維修

Edwards STP系列磁懸浮渦輪分子泵 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)yi流的性能,的制程靈活性。Edwards STP-301CB1 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。

產(chǎn)品詳情:

品牌:愛德華           型號(hào):STP-H301C               工作原理:分子真空泵

極限真空度類型:高真空0.00001~0.1Pa              極限真空度:1Pa抽氣速率:1L/s

電機(jī)功率:1kW        工作壓強(qiáng)范圍:1Pa             溫升:60℃                  進(jìn)氣口徑:50mm



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