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國內(nèi)半導體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實際上,應該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金剛石線切割機
金剛石線徑的選擇:
金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇,一般硬度高、強度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機對材料的切割能力和切割速度。當切割的材料易于切割時不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。超硬材料行業(yè)除了重視金剛石線鋸的研究之外,更要大力投入切割設備的研究,因為兩者是密不可分的。一些時候?qū)嶒炚邥鶕?jù)個人實驗目的或被切割材料的特性對切割線徑進行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品,這時所用金剛石線應按規(guī)定選擇適當?shù)木€徑。
高速切割設備
切割行程的設置:
切割行程=樣品的長度 5mm。為保證將樣品切斷,通常會在樣品的實際高度之上增加5㎜。使用壽命長不必涂油,不易粘微塵,維護,保養(yǎng)方便簡單,使用壽命長。當要求對樣品進行開槽時,實際切割行程應與開槽深度相同,為保證停止切割時所開槽口深度達到要求,當切割行程達到設定行程時應暫停切割,但主軸帶動金剛石切割線繼續(xù)運行一段時間,從而使樣品未達到切割深度的位置繼續(xù)被切割,直到樣品被切割部位每一點都達到所要求的切割深度。