無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：不攜入在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

    清潔室內(nèi)用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。

    潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、地完成清潔工作。特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。當你使用專用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數(shù)，因為它不會二次擴散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。較強的吸力可吸除更深層的粉塵。設(shè)計新穎輕巧，符合人體工學，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國太空總署特別使用專用專用吸塵器清除貨倉內(nèi)的微細粉塵。