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流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。2、熱探頭向測量桿構(gòu)架的導(dǎo)熱02隨著構(gòu)架材料導(dǎo)熱系數(shù)的不同,02差別很大。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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流量控制器的穩(wěn)定控制時(shí)間
由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時(shí)間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個(gè)容許范圍。舉個(gè)例子, 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴(kuò)大到10%。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa。在ALICAT?,我們認(rèn)為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時(shí)到達(dá)了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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流量控制器的性能參數(shù)
流量控制器的特點(diǎn)是:當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí),通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數(shù)有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8%,A類產(chǎn)品的誤差小于等于5%。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計(jì)、加工和材質(zhì)。
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