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發(fā)布時(shí)間:2020-08-18 09:34  






公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。




通過(guò)金屬化過(guò)程,在硅襯底上布置一層僅數(shù)納米厚的金屬層。另外,不能用手觸摸掩膜板:灰塵顆粒,在掩膜板盒打開(kāi)的情況下,不準(zhǔn)進(jìn)出掩膜板室(MaskRoom),在存取掩膜板時(shí)室內(nèi)保持2人。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在曝光(一般是紫外線)后可以被特定溶液(顯影液)溶解。使特定的光波穿過(guò)光掩膜照射在光刻膠上,可以對(duì)光刻膠進(jìn)行選擇性照射(曝光)。然后使用前面提到的顯影液,溶解掉被照射的區(qū)域,這樣,光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上。通常還將通過(guò)烘干措施,改善剩余部分光刻膠的一些性質(zhì)。




在容柵電子光學(xué)微影技術(shù)性中,光罩表層的擋光圖樣會(huì)與基鋼板上的光阻層觸碰磨擦,非常容易促使擋光圖樣損耗促使光罩使用期減少。掩膜(MASK):全稱單片機(jī)掩膜,是指程序數(shù)據(jù)已經(jīng)做成光刻版,在單片機(jī)生產(chǎn)的過(guò)程中把程序做進(jìn)去。另一個(gè),當(dāng)施膠光亮阻層的基鋼板表層并不是十分整平時(shí),光罩與光阻層會(huì)造成不確定性的間隙與間距,而導(dǎo)致光源的光學(xué)散射與繞射,從而導(dǎo)致曝i光的規(guī)格偏差,而且導(dǎo)致光阻層淺部一部分的側(cè)面曝i光范疇擴(kuò)張,因此沒(méi)法制做出深?yuàn)W長(zhǎng)寬比的光阻構(gòu)造。






掩膜版是對(duì)勻膠鉻版經(jīng)過(guò)光繪加工后的產(chǎn)品。勻膠鉻版(光掩膜基版)由玻璃基板、鉻層、氧化鉻層和光刻膠層構(gòu)成的。通過(guò)光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。



根據(jù)基板材質(zhì)的不同主要可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。










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