半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

排風(fēng)口設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn):室內(nèi)進(jìn)氣保持潔凈

排風(fēng)口設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)：在排風(fēng)口要裝有空氣過濾器，還有就是送風(fēng)口上裝過濾靜壓箱，這樣就可以實(shí)現(xiàn)室內(nèi)進(jìn)氣保持潔凈，且更換過濾器也方便；室內(nèi)送、排風(fēng)的時(shí)候基本采用上送下排的形式，排風(fēng)口要設(shè)在室內(nèi)可能被污染的區(qū)域，采用單側(cè)布置，設(shè)置的時(shí)候不得有任何障礙，這樣就保證了風(fēng)源的潔凈。窗簾要求：在設(shè)計(jì)的時(shí)候，傳遞窗可為全不銹鋼材質(zhì)制備，采用機(jī)械聯(lián)鎖控制裝置，其內(nèi)部要有滅菌設(shè)備。

電子廠房的潔凈車間都要求潔凈度和室內(nèi)空氣參數(shù)

電子廠房的潔凈車間都要求潔凈度和室內(nèi)空氣參數(shù)，電子廠房裝修步驟中要注意車間潔凈度的要求級(jí)別是千級(jí)、萬級(jí)還是十萬級(jí)，潔凈度不同選用的材料和設(shè)備是不一樣的。室內(nèi)空氣參數(shù)包括溫濕度要求、新風(fēng)量和送風(fēng)量。這類電子車間內(nèi)人員比較多，為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度和溫濕度，新風(fēng)量和送風(fēng)量的要求都比較大。

電子廠房裝修步驟中要還要注意的是頂部，電子廠房的頂部一般都比較高，大多數(shù)都是鋼結(jié)構(gòu)框架，在裝修頂部時(shí)先要合理安排設(shè)計(jì)消防、通風(fēng)、及中央空調(diào)。如果要吊頂?shù)?，需考慮吊頂材料，通過我們可以選擇礦棉吸音板、石膏板、鋁塑板等材料作為吊頂材料。