國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工，包括：去頭尾、截?cái)?、開方等的加工，大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙，浪費(fèi)材料，金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。

實(shí)際上，應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工，能得到更高的質(zhì)量。

元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能：

1. 切割晶體尺寸：  300*300 mm

2. 切割線線速度： 小于60 m/s

3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度：  500 mm/s

4. 晶片表面粗糙度：    Ra≤ 0.2μm

金剛石線切割機(jī)

金剛石線徑的選擇：

金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇，一般硬度高、強(qiáng)度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割，因此應(yīng)選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線，以此來保證金剛石線切割機(jī)對(duì)材料的切割能力和切割速度。當(dāng)切割的材料易于切割時(shí)不需要很大的摩擦力便能將材料切削，因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。超硬材料行業(yè)除了重視金剛石線鋸的研究之外，更要大力投入切割設(shè)備的研究，因?yàn)閮烧呤敲懿豢煞值?。一些時(shí)候?qū)嶒?yàn)者會(huì)根據(jù)個(gè)人實(shí)驗(yàn)?zāi)康幕虮磺懈畈牧系奶匦詫?duì)切割線徑進(jìn)行具體要求，如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品，這時(shí)所用金剛石線應(yīng)按規(guī)定選擇適當(dāng)?shù)木€徑。

高速切割設(shè)備

切割行程的設(shè)置：

切割行程=樣品的長度 5mm。為保證將樣品切斷，通常會(huì)在樣品的實(shí)際高度之上增加5㎜。使用壽命長不必涂油，不易粘微塵，維護(hù)，保養(yǎng)方便簡單，使用壽命長。當(dāng)要求對(duì)樣品進(jìn)行開槽時(shí)，實(shí)際切割行程應(yīng)與開槽深度相同，為保證停止切割時(shí)所開槽口深度達(dá)到要求，當(dāng)切割行程達(dá)到設(shè)定行程時(shí)應(yīng)暫停切割，但主軸帶動(dòng)金剛石切割線繼續(xù)運(yùn)行一段時(shí)間，從而使樣品未達(dá)到切割深度的位置繼續(xù)被切割，直到樣品被切割部位每一點(diǎn)都達(dá)到所要求的切割深度。