常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠(chǎng)等有害氣體的管道檢漏不實(shí)用，檢測(cè)到微漏的氦質(zhì)譜檢漏儀成為了化工廠(chǎng)安全生產(chǎn)作業(yè)的保障。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲(chǔ)存罐、生物制品容器及各類(lèi)壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽(yáng)能集熱管、飲料罐口等。使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣會(huì)立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會(huì)立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場(chǎng)所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測(cè)漏容器的頂部便于觀(guān)察的位置。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲(chǔ)存罐、生物制品容器及各類(lèi)壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽(yáng)能集熱管、飲料罐口等。氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。

檢漏步驟為: 1.檢查機(jī)械泵與羅茨泵連接的波紋管法蘭，很容易由于波紋管法蘭膠圈沒(méi)壓好或波紋管焊口損壞造成漏氣，由于機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn)的振動(dòng)較大，螺栓容易松動(dòng)，波紋管焊口長(zhǎng)時(shí)間受振動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致裂紋造成漏氣。 2.檢查壓差閥或放氣閥進(jìn)氣口及機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵的外殼是否漏氣。放氣閥的電源被忘接或閥的磁感應(yīng)線(xiàn)圈被燒壞導(dǎo)致閥無(wú)法正常關(guān)閉也會(huì)導(dǎo)致漏氣。

檢漏儀具備強(qiáng)的數(shù)據(jù)監(jiān)控和存儲(chǔ)能力，為了保證更好的操作效果和數(shù)據(jù)的保存能力，在這種氦質(zhì)譜檢漏儀的日常運(yùn)轉(zhuǎn)之中可以方便的將檢測(cè)的數(shù)據(jù)輸出并且進(jìn)行查詢(xún)，氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,氦質(zhì)譜檢漏方法比較多,根據(jù)被檢件的測(cè)量目的可以分為兩種類(lèi)型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過(guò)程中要根據(jù)檢驗(yàn)的目的選用合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運(yùn)用各種檢漏方法。