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多源有機無機蒸發(fā)?系統(tǒng)金屬蒸發(fā)鍍膜機報價
多源有機無機蒸發(fā)系統(tǒng)
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主要用途:
用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應(yīng)用 于大專院校的薄膜材料科研。
系統(tǒng)組成:
由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統(tǒng)組成。
技術(shù)指標:
極限真空度5.0×10-5Pa,系統(tǒng)漏率:1×10-7PaL/S; 恢復(fù)真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa
真空室:D形真空室,尺寸350× 380mm
樣品臺:尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品;
電極:數(shù)量:4支水冷結(jié)構(gòu);直徑Φ20㎜
樣品基片:,基片在鍍膜位置實現(xiàn)自轉(zhuǎn)?;臏囟葟氖覝刂?00℃
4套擋板系統(tǒng):基片擋板與源擋板;靶擋板共有3套, 樣品擋板(1套)
石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999?
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。
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多源蒸發(fā)系統(tǒng)介紹
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系統(tǒng)主要用來生長EL OEL分子有機電致發(fā)光器件薄膜的研究工作
該類設(shè)備為雙室?guī)痔紫浣Y(jié)構(gòu)的有機、無機、多源有機、無機氣相分子沉積設(shè)備,采用直線式結(jié)構(gòu),由一個金屬材料生長、氧化物生長室、一個有機材料生長室和一個手套箱組成,金屬材料生長和氧化物生長室以及進樣室/氧化物生長室之間通過空氣鎖聯(lián)接,樣品通過帶遠程手控盒功能的電動磁力耦合裝置在兩個生長室之間手動傳遞。可選手套箱。7、滾動腔體特殊設(shè)計,沉積速度快,成膜時間短,大大提高生產(chǎn)效率。
有機無機蒸發(fā)鍍膜儀
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有機無機蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu),主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接,其中一個生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。有機無機蒸發(fā)鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。ZF500有機蒸發(fā)鍍膜機廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學、電子、能源等相關(guān)學科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等,半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。