常見類型

超聲流量計(jì)，通過檢測流體流動(dòng)對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。

電磁流量計(jì)，電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計(jì)有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計(jì)不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。

熱式流量計(jì)，熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

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渦街流量計(jì)

主要用于工業(yè)管道介質(zhì)流體的流量測量,如氣體、液體、蒸氣等多種介質(zhì)。其特點(diǎn)是壓力損失小,量程范圍大,精度高,在測量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數(shù)的影響。無可動(dòng)機(jī)械零件，因此可靠性高,維護(hù)量小。儀表參數(shù)能長期穩(wěn)定。本儀表采用壓電應(yīng)力式傳感器,可靠性高,可在-20℃～ 250℃的工作溫度范圍內(nèi)工作。有模擬標(biāo)準(zhǔn)信號,也有數(shù)字脈沖信號輸出,容易與計(jì)算機(jī)等數(shù)字系統(tǒng)配套使用,是一種比較先進(jìn)、理想的流量儀表。

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你對氣體流量控制器了解多少？

注：單位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工藝氣體，建議選擇對應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體的穩(wěn)定和計(jì)量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學(xué)特性不同，使用同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器會(huì)存在流量誤差和安全隱患。

如使用的是常規(guī)工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，只需保證流量穩(wěn)定即可；但是對于H2、CF4等特殊氣體，可燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。

實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī)機(jī)，通常對流量控制要求不是非常嚴(yán)格，純手動(dòng)操作的設(shè)備，也會(huì)選用手動(dòng)浮子流量計(jì)。

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