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實驗室凈化工程主要采用人工手段,運用清潔技術(shù)控制室內(nèi)空氣中的灰塵、細菌濃度、溫度、濕度和壓力,達到所需的清潔度、溫度、濕度和氣流速度等環(huán)境參數(shù)。因此,凈化工程的設(shè)計施工應(yīng)遵守哪些規(guī)范?
凈化工程的設(shè)計施工應(yīng)遵守哪些規(guī)范?
1、凈化工程施工,從設(shè)計、材料采購到安裝過程,必須嚴格按照規(guī)范和要求進行操作,嚴格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量標準體系,確保凈化工程施工的進度和質(zhì)量。
2、凈化工程對機械設(shè)備的選擇、材料的使用、技術(shù)操作的安裝等都有很高的要求。所用設(shè)備準備齊全,重量輕,體積小。使用時,必須按照手冊的要求進行。根據(jù)工藝管道的材質(zhì)要求,焊接過程中采用不銹鋼嚴格控制焊接工藝。
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。