氦質(zhì)譜檢漏儀——電氣部分

除了主機(jī)供電部件和主機(jī)控制部件，還有幾組主要電路：

1）離子源電源。為離子源提供加速、聚焦、拒斥電壓。

2）發(fā)射電流穩(wěn)定電路。穩(wěn)定和調(diào)節(jié)發(fā)射電流。

3）離子流放大器和音響報(bào)警器。將離子流進(jìn)行放大并將輸出信號(hào)送入輸出儀表或顯示器和音響報(bào)警器。

4）真空測(cè)量電路。一般用熱偶計(jì)測(cè)量低真空，用冷陰極磁控入電真空計(jì)測(cè)量高真室。

5）燈絲保護(hù)電路。當(dāng)質(zhì)譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護(hù)燈絲。

6）其他電路。不同型號(hào)的檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差加，這在各自的說(shuō)明書(shū)中都有說(shuō)明，這里不同贅述。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法

檢漏的目的是確定被檢件漏孔的位置和漏率，這些目的是通過(guò)采用一些標(biāo)準(zhǔn)的檢漏方法實(shí)現(xiàn)的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來(lái)決定。

?負(fù)壓法

該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對(duì)被檢件抽真空檢漏，然后用噴槍向可能泄漏處噴吹氦氣。當(dāng)有漏孔存在時(shí)，氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀被定量檢測(cè)出。

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?正壓法

又稱吸槍檢漏，將專用吸槍接在儀器檢漏口上，被檢件充入規(guī)定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例氦氮混合氣）。氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。檢漏時(shí)，吸槍沿可能泄漏處慢慢移動(dòng)，被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入至儀器的質(zhì)譜系統(tǒng)而被檢測(cè)出。因?yàn)榭諝庵泻?ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對(duì)負(fù)壓法要低。

氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用

電力行業(yè)

SF6高壓開(kāi)關(guān)和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及野外輸變電的重要組成部分，往往因泄漏造成大面積或局部停電，影響工業(yè)生產(chǎn)，又妨礙人們的正常生活。因此帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失有時(shí)是難以估量的。

（1）高壓開(kāi)關(guān)在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不易清洗。一般采用檢漏盒或氦罩法，即把被檢件抽真空，然后向罩內(nèi)充入氦氣，等待一定時(shí)間，確定總漏率的大小。因氦氣的用量小，檢測(cè)靈敏度就高。

（2）氧化鋅避雷器，是根據(jù)電壓高低要求，采用不同截面積、不同厚度和不同數(shù)量的氧化鋅片，裝在瓷套中，充入氮?dú)夂竺芊?。檢漏時(shí)，吸槍沿可能泄漏處慢慢移動(dòng)，被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入至儀器的質(zhì)譜系統(tǒng)而被檢測(cè)出。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊，氧化鋅片電阻變小，大電流對(duì)地短路，輸電線路被保護(hù)。如果泄漏造成內(nèi)外沒(méi)有壓差，外部潮濕氣體有可能進(jìn)入，而破壞氧化鋅片特性。

（3）電力行業(yè)中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開(kāi)關(guān)管及其它元器件也都相應(yīng)的采用氦質(zhì)譜檢譜檢漏儀，用不同方法進(jìn)行檢漏。